[发明专利]硅片自动纠正装置有效

专利信息
申请号: 201710245088.7 申请日: 2017-04-14
公开(公告)号: CN106876308B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 孙铁囤;姚伟忠;汤平 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 郑云
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 硅片 自动 纠正 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片自动纠正装置,包括机架(1)及设置在机架(1)上的框架(2),所述机架(1)上设置有用于驱动框架(2)上升或者下降的第一驱动装置(3),其特征在于:还包括控制单元(4)、推板(5)、接近开关(6)、第一微动开关(8)和第二微动开关(9),所述框架(2)倾斜设置在所述机架(1)上,所述机架(1)的一端设有用于输送硅片的输送带(10),所述机架(1)上设有用于驱动输送带(10)转的第二驱动装置(11),所述框架(2)上设有用于插设插片盒的插槽(201),所述框架(2)位于所述输送带(10)的输出端,所述接近开关(6)位于所述输送带(10)的输出端,所述推板(5)位于机架(1)远离输送带(10)的一端,所述机架(1)上设有用于驱动推板(5)靠近或者远离框架(2)的第三驱动装置(7),所述第一微动开关(8)设置在所述机架(1)上,所述第一微动开关(8)位于框架(2)靠近推板(5)的一侧,所述框架(2)的两侧均设有第二微动开关(9),所述推板(5)内开设有卡槽(501),所述第二微动开关(9)设置在所述卡槽(501)的底部,所述卡槽(501)底部的两侧均设了所述第二微动开关(9),所述第一微动开关(8)、第二微动开关(9)、接近开关(6)、第一驱动装置(3)、第二驱动装置(11)和第三驱动装置(7)均与控制单元(4)信号连接。

2.根据权利要求1所述的硅片自动纠正装置,其特征在于:所述输送带(10)与所述框架(2)之间设有连接板(12),所述连接板(12)上开设有导向孔(13),所述导向孔(13)的一端与所述输送带(10)的输出端相对应,所述导向孔(13)的另一端与框架(2)相对应。

3.根据权利要求2所述的硅片自动纠正装置,其特征在于:所述导向孔(13)具有依次连接的导向段(13-1)和限位段(13-2),所述限位段(13-2)为相互平行的直线段,所述导向段(13-1)为与限位段(13-2)倾斜的斜面,所述斜面由一端向另一端逐渐向内倾斜,所述导向段(13-1)靠近所述输送带(10)。

4.根据权利要求1所述的硅片自动纠正装置,其特征在于:所述第一驱动装置(3)、第三驱动装置(7)均为气缸,所述第二驱动装置(11)为电机。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州亿晶光电科技有限公司,未经常州亿晶光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710245088.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top