[发明专利]集成式压电打印头

权利要求书

1.一种压电喷墨打印头，其包含：

多个喷墨器，其包括：

喷嘴；

多个油墨腔室；

至少一个隔膜材料，其中所述隔膜材料由具有构建的压电材料的箔组成，所述隔膜材料被配置为使得隔膜在相关联的油墨腔室上的偏转有助于产生压力脉冲，所述压力脉冲用于从所述喷嘴喷射液滴；以及

顶部电极，所述顶部电极通过与所述顶部电极电连通的驱动电子器件单独可寻址；

其中所述压电材料被构建成多层，其特征在于，通过将BNKT-BMT浆料沉积在所述箔上形成构建的压电材料层，其中所沉积的BNKT-BMT浆料然后被固化；以及

使用与BNKT-BMT浆料相同的组合物渗透所述BNKT-BMT浆料，其中被渗透的BNKT-BMT浆料被固化，其中在多次渗透和固化循环之后，将厚混合膜在650℃-800℃下退火30分钟至2小时，最终厚度在5μm-50μm的范围内。

2.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中在层叠之前先在至少一个隔膜上形成所述压电材料。

3.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中所述压电材料被定向。

4.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中所述压电材料被图案化。

5.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中所述压电材料具有0.5um到25um的厚度。

6.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中所述至少一个隔膜材料具有0.5um到30um的厚度。

7.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中所述至少一个隔膜材料是金属箔。

8.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中所述至少一个隔膜材料是不锈钢箔。

9.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中相对于每个的至少一个隔膜材料定位有导电区域，并且向所述导电区域施加电压以引起导致在所述至少一个隔膜中偏转的压电力。

10.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中所述构建的压电材料是具有5层至500层压电材料的压电复合物。

11.根据权利要求1所述的压电喷墨打印头，其中所述压电打印头通过以下步骤形成：在衬底上方沉积包含压电材料的液体溶胶-凝胶溶液；

将所述液体溶胶-凝胶溶液固化在所述衬底上以形成固化的压电复合物；以及

由所述压电复合物形成用于所述喷墨打印头的致动器阵列，其中所述致动器阵列包含多个单独可寻址的致动器。

12.根据权利要求11所述的压电喷墨打印头，其中所述衬底是打印头隔膜，并且通过将所述打印头隔膜附接到打印头喷射堆来进一步形成所述压电喷墨打印头。

13.根据权利要求12所述的压电喷墨打印头，其还包含：

在所述衬底上方的导电顶部电极层，其中所述液体溶胶-凝胶溶液首先沉积在所述衬底上方并沉积到所述顶部电极层上，所述固化的压电复合物将所述顶部电极层附接到打印头隔膜，并且从所述衬底去除所述固化的压电复合物和所述顶部电极层。

14.根据权利要求12所述的压电喷墨打印头，其中在层叠之前先在至少一个隔膜上形成所述压电材料。

15.根据权利要求12所述的压电喷墨打印头，其中所述压电材料被图案化。

16.根据权利要求12所述的压电喷墨打印头，其中所述压电材料具有0.5um到25um的厚度，并且所述至少一个隔膜材料具有0.5um到30um的厚度。