[发明专利]用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管及其应用

权利要求书

1.一种用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管，包括水冷芯管，其特征在于：水冷芯管包括水冷小管、变径环、水冷大管、安装座和分流块，安装座的中心为进水口，其中：水冷大管与安装座无缝焊接，进水口位于水冷大管中央，水冷大管与水冷小管之间通过变径环无缝焊接，水冷小管的端部封口，封口上设有均匀分布的出水槽，每个出水槽配有一片分流块。

2.根据权利要求1所述的用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管，其特征在于：安装座设有电极密封槽，电极密封槽内设有密封圈，电极密封槽周边设有均匀分布的电极安装孔。

3.根据权利要求2所述的用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管，其特征在于：水冷小管的端部封口上设有四个均匀分布的出水槽，所述的密封圈为O形密封圈，电极密封槽周边设有四个均匀分布的电极安装孔。

4.根据权利要求1-3之一所述的用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管，其特征在于：所述的水冷小管和水冷大管均为无缝不锈钢管，变径环、安装座和分流块的材料均为不锈钢。

5.一种如权利要求4所述用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管的应用，其特征在于，对应的半导体级硅单晶炉电极含有中空的腔室，并设有电极出水口，水冷芯管插入中空腔室后，半导体级硅单晶炉电极通过电极安装孔与安装座密封对接。

6.根据权利要求5所述水冷芯管的应用，其特征在于，冷媒由安装座的进水口进入水冷大管，经过变径环升压后由水冷小管端部的出水槽喷出，在分流块的作用下冷媒被洒向中空腔室的内壁，吸热汇集后再由电极出水口返回循环使用。