[发明专利]一种微测辐射热计的氧化钛热敏薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201710248921.3 | 申请日： | 2017-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN106987814A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 杨鑫;王宏臣;陈文礼;王鹏;甘先锋;董珊;孙丰沛 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙)37234 | 代理人： | 刘志毅 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 辐射热 氧化 热敏 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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