[发明专利]气敏感测设备与系统以及检测环境中的氧气的方法有效

专利信息
申请号: 201710249992.5 申请日: 2017-04-17
公开(公告)号: CN107064272B 公开(公告)日: 2019-11-26
发明(设计)人: 王国强;王久石 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G01N27/414 分类号: G01N27/414
代理公司: 11225 北京金信知识产权代理有限公司 代理人: 黄威;范琏<国际申请>=<国际公布>=<
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 气敏层 敏感 源层 氧气 薄膜晶体管器件 吸附作用 氧气反应 氧气结合 接合 检测 漏极 源极
【权利要求书】:

1.一种气敏感测设备,包括:

薄膜晶体管器件,其包括有源层、源极以及漏极;以及

气敏层,其与所述有源层相接合,所述气敏层由对氧气有吸附作用并能够与氧气结合以产生电子的材料构成,或者,所述气敏层由能够与氧气反应以产生电子的材料构成,所述气敏层产生的电子能够被所述有源层接收,

其中所述气敏层覆盖在所述有源层上,并且所述气敏层形成在所述有源层的远离所述源极和所述漏极的一侧。

2.如权利要求1所述的气敏感测设备,其中所述气敏层为膜状。

3.如权利要求1所述的气敏感测设备,其中所述气敏层由多孔状的铁卟啉构成。

4.如权利要求1所述的气敏感测设备,其中所述气敏层涂覆在所述薄膜晶体管器件的有源层上。

5.如权利要求1所述的气敏感测设备,其中所述气敏层与所述有源层接合的面积为与3-10个RGB像素对应的薄膜晶体管阵列部分的面积。

6.一种气敏感测系统,包括:

如权利要求1~5中任一项所述的气敏感测设备;以及

电流检测设备,其配置为检测所述薄膜晶体管器件的源极与漏极之间的电流。

7.如权利要求6所述的气敏感测系统,进一步包括:

存储模块,其配置为预先存储所述薄膜晶体管器件的源极与漏极之间的电流与氧气浓度之间的关系;

气体浓度计算模块,其配置为基于所述关系,根据所述电流检测设备检测出的所述源极与所述漏极之间的电流来计算当前环境下的氧气浓度。

8.一种利用根据权利要求1所述的气敏感测设备检测环境中的氧气的方法,包括:

将电流检测设备连接在所述薄膜晶体管器件的源极与漏极之间;

由所述电流检测设备检测所述源极与所述漏极之间的电流;

根据检测出的电流计算当前环境下的氧气浓度。

9.如权利要求8所述的检测环境中的氧气的方法,进一步包括:

预先存储所述薄膜晶体管器件的源极与漏极之间的电流与氧气浓度之间的关系;以及

基于所述关系,根据检测出的所述源极与所述漏极之间的电流来计算当前环境下的氧气浓度。

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