[发明专利]溶液性质感测器及其制造方法

权利要求书

1.一种溶液性质感测器，其特征在于：所述溶液性质感测器包含：

一基板；

一氧化铟锡图案层，设置于所述基板上，且所述氧化铟锡图案层包括：

一酸碱值感测图案；

一温度感测图案，电性隔离于所述酸碱值感测图案；及

一电导度感测图案，电性隔离于所述酸碱值感测图案及所述温度感测图案；以及

一电路连接插槽，包含：

一容置空间，所述基板及所述氧化铟锡图案层设于所述容置空间中；多个电路连接端，分别电性连接所述酸碱值感测图案、所述温度感测图案及所述电导度感测图案；及

朝外伸出的一凸块，所述多个电路连接端设置在所述凸块上。

2.如权利要求1所述的溶液性质感测器，其特征在于：所述基板的材质包括聚对苯二甲酸乙二酯。

3.如权利要求1所述的溶液性质感测器，其特征在于：所述酸碱值感测图案包括一酸碱值感测区及一酸碱值电路连接区，所述酸碱值电路连接区连接所述酸碱值感测区。

4.如权利要求1所述的溶液性质感测器，其特征在于：所述温度感测图案包括一第一温度电路连接区、一第二温度电路连接区及一温度感测区，所述温度感测区位在所述第一温度电路连接区及所述第二温度电路连接区之间，且所述温度感测区的二端分别连接所述第一温度电路连接区与所述第二温度电路连接区。

5.如权利要求1所述的溶液性质感测器，其特征在于：所述电导度感测图案包括一第一电导度电路连接区及一第二电导度电路连接区，所述第一电导度电路连接区与所述第二电导度电路连接区是电性隔离且隔开一距离。

6.如权利要求1所述的溶液性质感测器，其特征在于：所述基板及所述氧化铟锡图案层之间更包含五氧化二铌层及二氧化硅层，其中在所述基板上依序堆叠所述五氧化二铌层、所述二氧化硅层及所述氧化铟锡图案层。

7.如权利要求1所述的溶液性质感测器，其特征在于：所述溶液性质感测器更包括一参考电极，设于所述容置空间中，其中所述参考电极位在所述基板的上方及所述氧化铟锡图案层的上方。

8.一种溶液性质感测器的制造方法，其特征在于：所述溶液性质感测器的制造方法包含步骤：

提供一基板；

形成一氧化铟锡层于所述基板上；

图案化所述氧化铟锡层，以使所述氧化铟锡层形成一氧化铟锡图案层，其中所述氧化铟锡图案层包括：

一酸碱值感测图案；

一温度感测图案，电性隔离于所述酸碱值感测图案；及

一电导度感测图案，电性隔离于所述酸碱值感测图案及所述温度感测图案；以及

将所述基板及所述氧化铟锡图案层设置于一电路连接插槽的一容置空间中，其中所述电路连接插槽更包括：

多个电路连接端，且所述多个电路连接端分别电性连接所述酸碱值感测图案、所述温度感测图案及所述电导度感测图案；及

朝外伸出的一凸块，所述多个电路连接端设置在所述凸块上。

9.如权利要求8所述的溶液性质感测器的制造方法，其特征在于：所述图案化所述氧化铟锡层的步骤更包括以一激光雕刻方式图案化所述氧化铟锡层。

10.如权利要求8所述的溶液性质感测器的制造方法，其特征在于：所述图案化所述氧化铟锡层的步骤更包括以一湿式蚀刻方式图案化所述氧化铟锡层。