[发明专利]一种基于光学检测的微机电系统平台

权利要求书

1.一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；所述平台主体包括振动平台；所述外部封装板形成密闭空间，将所述平台主体和所述光学检测机构封装在所述密闭空间内部；所述光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；所述反射镜水平固定在所述振动平台顶部，镜面朝向所述外部封装板的顶部；所述激光器和所述二极管阵列位于所述外部封装板顶部内侧，所述二极管阵列包括多个光电二极管；所述二极管阵列围绕在所述激光器周围；所述激光器发出的光照射到所述反射镜上，经所述反射镜的反射后形成的反射光照射到所述二极管阵列上；所述二极管阵列检测所述反射光的光强；

所述二极管阵列包括第一阵列和第二阵列；所述第一阵列位于所述激光器外围；所述第二阵列位于所述第一阵列外围；所述第一阵列中所述光电二极管的数量和排列方式与所述第二阵列中所述光电二极管的数量和排列方式相同；

所述第一阵列中所有相邻光电二极管的连线构成等边多边形；所述第二阵列中所有相邻光电二极管的连线构成等边多边形；

所述第二阵列中所述等边多边形的任意一角的所述光电二极管的位置与相对应的所述第一阵列中所述光电二极管的位置的连线均穿过所述激光器所在位置；

所述平台主体还包括驱动结构，所述驱动结构位于所述振动平台底部和四周，驱动所述振动平台产生振动；

所述驱动结构包括水平驱动结构和垂直驱动结构；所述水平驱动结构位于所述振动平台的四周，驱动所述振动平台产生水平方向的振动；所述垂直驱动结构位于所述振动平台的底部，驱动所述振动平台产生垂直方向的振动。

2.根据权利要求1所述的一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，所述光学检测机构还包括偏置电极；所述偏置电极安装在所述外部封装板上，所述激光器和所述二极管阵列均通过所述偏置电极与外部装置进行电连接，所述外部装置包括为所述激光器提供电能的电源和对所述二极管阵列的电信号进行分析的数据处理装置。

3.根据权利要求2所述的一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，所述数据处理装置根据所述二极管阵列检测到的所述反射光的光强计算所述激光器发出的光的光程；根据所述光程的变化确定所述振动平台的振动状态。

4.根据权利要求1所述的一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，所述平台主体还包括支撑结构；所述支撑结构用于支撑所述振动平台和所述驱动结构。