[发明专利]一种新型多功能传感器芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 201710254835.3 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN106959169B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张丛春;林兴楷;杨伸勇;丁桂甫;汪红 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;G01R27/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 多功能 传感器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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