[发明专利]一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测方法及装置

权利要求书

1.一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测方法，其特征在于：具体方法如下：

A对一种大面积透明基片按照检测精度和镜头范围分成n块区域；

B按区域配置2n套双面视觉检测装置，按照每个定位点的位置定位安装视觉检测装置；

C拍摄基片图像，对基片图像进行机器视觉检测，再拼合成大面积透明基片整体图像；

D提取基片外缘边缘，检测基片外形尺寸及定位；

E判断多块目标区域的表面缺陷数量平均值之间的标准偏差值是否小于标准偏差阈值，如果是，执行步骤F，否则判定为基片缺陷；

F判断图像中表面缺陷尺寸大小是否超过标准值，如果是，则判定为基片缺陷；如果否，则执行步骤G；

G提取缺陷区域数量加权值，计算区域及整体数量特征值，并将所述特征值分类计算参数值。

2.根据权利要求1所述的一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测方法，其特征在于：所述步骤D中提取基片基片外缘边缘为提取两个面的外缘边缘，所述基片外缘边缘包围尺寸无关表面缺陷边缘，根据边缘位置从所述边缘图像中提取基片定位参数；所述步骤D还包括判断基片外形尺寸是否满足公差要求，如果是，执行上述步骤E；否则判定为尺寸缺陷。

3.根据权利要求1所述的一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测方法，其特征在于：所述步骤E具体步骤如下：提取每个尺寸表面缺陷边缘的外接矩形，形成缺陷ROI，计算缺陷ROI的Curve-Rectangle特征值；将缺陷ROI的Curve-Rectangle特征值输入Curve-Rectangle分类器，判定尺寸表面缺陷的类型；将所述Curve-Rectangle分类器判定的不同类型尺寸无关表面缺陷的特征值分别输入不同的分类器；判定尺寸表面缺陷在类型组中的具体类型：提取各类型缺陷的数量参数。

4.根据权利要求1所述的一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测方法，其特征在于：所述将缺陷ROI的Curve-Rectangle特征值输入Curve-Rectangle分类器，判定的尺寸无关表面的缺陷类型包括划伤-崩类型和斑印-点类型。

5.根据权利要求1所述的一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测方法，其特征在于：将所述各类型缺陷的数量特征值输入上位机，根据图像中表面缺陷尺寸大小是否超过标准值，如果是，则判定为基片缺陷；如果否，则执行步骤G。

6.根据权利要求1所述的一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测方法，其特征在于：将所述各类型缺陷的区域数量特征值输入上位机，加权计算数量值，计算区域及整体数量特征值，并将所述特征值分类计算参数值，最终输出基片表面缺陷检测结果。

7.一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测装置，包括双面视觉检测平台、视觉检测设备以及上位机，所述双面视觉检测平台上设有视觉检测设备，所述视觉检测设备通过信号线与所述上位机连接，其特征在于，所述视觉检测设备为双面检测设备，包括PC控制系统、上下依次设置的上成像模组和下成像模组，所述上成像模组和下成像模组之间设有待检测的大面积透明基片，所述下成像模组设有一连接器，所述连接器与所述PC控制系统通过信号线连接，所述上成像模组通过信号线与所述PC控制系统连接。

8.根据权利要求7所述的一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述上成像模组与所述下成像模组之间设有调节器。

9.根据权利要求7所述的一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述双面视觉检测平台设置有多个定位点，每个定位点设有一个视觉检测设备。

10.根据权利要求9所述的一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述视觉检测设备呈流水线方向排布。