[发明专利]MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置

说明书

本发明提供一种MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。该MEMS器件的特征在于，具备：第一基板，其具备驱动区域，并在该驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层；和第二基板，其以与所述第一基板的层压有所述电介质层的面对置的方式而被配置，所述第一电极层及所述电介质层朝向从所述驱动区域偏离出的非驱动区域而延伸至与所述第二电极层相比靠外侧，具有弹性的第一树脂被形成在所述电介质层的延伸方向上的包括所述第二电极层的端缘在内的区域内，所述第一基板和所述第二基板在夹着发生了弹性变形的所述第一树脂的状态下，通过粘合剂而被固定。

技术领域

本发明涉及一种液体的喷射等所使用的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置，尤其是涉及一种在驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。

背景技术

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)器件被应用于各种装置。例如，作为MEMS器件的一种的液体喷射头，除了被应用于喷墨式打印机或喷墨式绘图仪等图像记录所使用的液体喷射装置以外，还被应用于各种制造所使用的液体喷射装置。具体而言，被应用于制造液晶显示器等的彩色滤光片的显示器制造装置、形成有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置等。而且，通过图像记录装置用的记录头而喷射液状的油墨，通过显示器制造装置用的颜色材料喷射头而喷射R(Red：红色)、G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)的各颜色材料的溶液。此外，通过电极形成装置用的电极材料喷射头而喷射液状的电极材料，通过芯片制造装置用的生物体有机物喷射头而喷射生物体有机物的溶液。

上述的液体喷射头具备：压力室，其与喷嘴连通；压电元件，其通过在对该压力室进行划分的面上依次层压有第一电极层、作为电介质层的一种的压电体层以及第二电极层而形成；和密封板，其为对压电元件进行保护的保护部件的一种。而且，液体喷射头利用通过向两电极层施加电压(电信号)而使压电体层变形这一情况，而使压力室内的液体发生压力变动，由此从喷嘴喷射液体。此外，作为液体喷射头也存在如下方式，即，压电体层及第一电极层延伸至与第二电极层相比靠外侧，并且密封板被粘合固定在第二电极层的端部处(参照专利文献1)。

但是，在上述的专利文献1那样的结构中，存在如下可能性，即，在将密封板粘合在形成有压电元件的基板上时，随着粘合剂的固化收缩而产生应力，从而在与第二电极层之间的界面处粘合剂发生剥离，或者第二电极层的端部从压电体层上剥离。另一方面，由于第二电极层的端缘处于因向两电极层施加电压而将会发生变形的部分和不会发生变形的部分之间的边界(换言之，压电体层被两电极层夹持而作为压电元件发挥功能的部分和压电体层未被两电极层夹持的部分之间的边界)处，因此在使压电元件变形时应力会集中。由于该应力，有可能会在第二电极层的端缘处的压电体层上产生裂纹等损伤。

专利文献1：日本特开2014-79931号公报

发明内容

本发明是鉴于这种情况而完成的发明，其目的在于，提供一种使压电体层等电介质层或在此上层压的电极层的损伤得到抑制的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。

本发明的MEMS器件是为了达成上述目的而提出的，其特征在于，具备：第一基板，其具备驱动区域，并在该驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层；和第二基板，其以与所述第一基板的层压有所述电介质层的面对置的方式而被配置，所述第一电极层及所述电介质层朝向从所述驱动区域偏离出的非驱动区域而延伸至与所述第二电极层相比靠外侧，具有弹性的第一树脂被形成在所述电介质层的延伸方向上的包括所述第二电极层的端缘在内的区域内，所述第一基板和所述第二基板在夹着发生了弹性变形的所述第一树脂的状态下，通过粘合剂而被固定。