[发明专利]掩膜板

说明书

本发明公开一种掩膜板，掩膜板包括掩膜板本体和具有通孔的弹性支撑结构，该支撑结构设置于掩膜板本体的朝向基板的第一表面上，以对掩膜板形成撑托，防止其下垂。另一方面，由于该支撑结构设置于基板和掩膜板之间，因此即使掩膜板发生下垂，也不会接触到基板，由此可以防止掩膜板下垂后对基板造成刮伤。

技术领域

本发明涉及OLED制造领域，具体而言，涉及一种用于OLED蒸镀用的掩膜板。

背景技术

OLED显示技术具有自发光、广视角、对比度高、较低耗电、反应速度快等优点，受到人们的广泛关注，誉为下一代显示技术。

OLED领域通常通过溶液制成和蒸镀制成来实现薄膜的制备，成膜范围的界定通过掩膜板来实现。然而，在实际使用中，特别是大尺寸面板制备时，掩膜板边缘和中间的连接条，往往由于重力作用而发生下垂，下垂的掩膜板接触到蒸镀的基板后，会导致基板划伤以及成膜区出现偏差等问题。

现有技术通常是在掩膜板上制作点状物支撑，以对掩膜板进行支撑，然而该技术方案虽对掩膜板下垂有所改善，但独立的点状物结构容易剥落，影响支撑效果，并形成污染。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种掩膜板，以防止该掩膜板下垂。

本发明的另一个主要目的在于提供一种掩膜板，以保护基板，以防止掩膜板与基板直接接触，造成刮伤。

为实现上述发明目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供了一种掩膜板，其中所述掩膜板包括掩膜板本体和弹性支撑结构，所述掩膜板本体具有朝向基板的第一表面；所述弹性支撑结构涂设置于所述第一表面上，优选采用涂敷的方式设置；其中，所述弹性支撑结构上设置有通孔，所述通孔优选为均匀分布在弹性支撑结构上。

根据本发明的一实施方式，其中所述通孔为三角形通孔。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构为一体成型结构。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构采用光刻技术成型。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构由粘度为10cp～500000cp的材料构成。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构由树脂类材料、亚克力材料或丙烯酸类材料制成。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构的厚度为1-10μm。

根据本发明的一实施方式，其中相邻所述三角形通孔之间的所述掩膜板的宽度为小于或者等于200μm。

根据本发明的一实施方式，其中所述掩膜板由金属材料制成。

根据本发明的一实施方式，其中所述掩膜板由不锈钢或者因瓦合金制成。

由上述技术方案可知，本发明的掩膜板的优点和积极效果在于：本发明提供的掩膜板包括弹性支撑结构，该弹性支撑结构设置于掩膜板本体的朝向基板的第一表面上，以对掩膜板形成撑托，防止其下垂。另一方面，由于该支撑结构设置于基板和掩膜板之间，因此即使掩膜板发生下垂，也不会接触到基板，由此可以防止掩膜板下垂后对基板造成刮伤。更进一步地，该弹性支撑结构为一体成型结构，增加了该弹性支撑结构的坚固性，能够更好地对掩膜板进行支撑，防止其发生下垂。更进一步地，该弹性支撑结构为具有三角形通孔的支撑结构，其具有更好的支撑稳定性，以进一步防止掩膜板下垂。

附图说明