[发明专利]湿法蚀刻设备及湿法蚀刻方法

权利要求书

1.一种湿法蚀刻设备，其特征在于，包括用于传送基板(50)的传送装置(10)、及多个设于所述传送装置(10)上方用于向基板(50)表面喷淋蚀刻液的喷淋管(21)；

所述传送装置(10)具有用于承载基板(50)的承载面，设所述传送装置(10)对基板(50)传送的方向为第一方向(X)，与所述第一方向(X)垂直且与所述传送装置(10)的承载面平行的方向为第二方向(Y)，所述传送装置(10)的承载面在沿第二方向(Y)上相对于水平面逐渐升高而呈倾斜状，从而对基板(50)进行倾斜式传送；

所述传送装置(10)的承载面划分为沿第二方向(Y)排列的第一至第N区域，其中N为大于1的自然数，所述多个喷淋管(21)在第一至第N区域的上方对应划分为第一至第N组，所述多个喷淋管(21)与所述承载面之间的高度在由第一至第N组逐渐降低，从而使基板(50)在第一区域至第N区域上所受到的喷淋压力不同；

在对基板(50)表面喷淋蚀刻液的过程中，每一喷淋管(21)均在基板(50)的上方来回转动；

还包括分别与所述第一至第N组喷淋管(21)相连接的用于传送蚀刻液的N个进液管(22)；

每一进液管(22)上均设有一个控制阀(221)，用于对蚀刻液的流量进行控制；

每一喷淋管(21)的轴向方向均平行于所述第一方向(X)；

每一喷淋管(21)上均设有沿其轴向方向排列的多个喷嘴(211)，每一喷淋管(21)均通过其上的多个喷嘴(211)向基板(50)表面喷淋蚀刻液。

2.如权利要求1所述的湿法蚀刻设备，其特征在于，所述传送装置(10)的承载面划分为沿第二方向(Y)排列的第一至第三区域，所述多个喷淋管(21)在第一至第三区域的上方对应划分为第一至第三组。

3.如权利要求1所述的湿法蚀刻设备，其特征在于，所述传送装置(10)的承载面相对于水平面倾斜3-7°。

4.一种湿法蚀刻方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、提供如权利要求1所述的湿法蚀刻设备、及待蚀刻的基板(50)，开启所述湿法蚀刻设备；

步骤S2、将所述基板(50)放置于传送装置(10)的承载面上，所述基板(50)在传送装置(10)的带动下向前移动并相对于水平面呈倾斜状，所述多个喷淋管(21)在基板(50)移动过程中对其下方的基板(50)喷淋蚀刻液，由于所述多个喷淋管(21)与基板(50)之间的高度在由第一至第N组逐渐降低，基板(50)在第一区域至第N区域上所受到的喷淋压力不同。

5.如权利要求4所述的湿法蚀刻方法，其特征在于，所述湿法蚀刻设备还包括分别与所述第一至第N组喷淋管(21)相连接的用于传送蚀刻液的N个进液管(22)，其中，每一进液管(22)上均设有一个控制阀(221)，用于对蚀刻液的流量进行控制；

所述步骤S2还包括，通过每一进液管(22)上的控制阀调整第一至第N组喷淋管(21)中的蚀刻液的流量。