[发明专利]压电元件及压电元件的制造方法在审
申请号: | 201710265529.X | 申请日: | 2017-04-21 |
公开(公告)号: | CN107452866A | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | 增田隆哉;渡部嘉之 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛野 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/27 |
代理公司: | 北京市磐华律师事务所11336 | 代理人: | 谢栒,蔡艳园 |
地址: | 日本大阪府堺*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 元件 制造 方法 | ||
1.一种压电元件,其包括:
压电体;
第一电极层,设置于所述压电体;
第二电极层,在第一方向上与所述第一电极层之间夹着所述压电体的第一区域而嵌入所述压电体;以及
具有导电性的导电层,在所述第一方向上设置于所述压电体的第一外表面,至少一部分与所述第一电极层或所述第二电极层之间夹着所述压电体的第二区域而设置于所述压电体,通过所述压电体与所述第一电极层及所述第二电极层连接;
所述压电体中的所述第一区域及所述第二区域被极化。
2.一种压电元件,其包括:
压电体;
第一电极层,设置于所述压电体;
第二电极层,在第一方向上与所述第一电极层之间夹着所述压电体的第一区域而嵌入所述压电体;以及
具有导电性的导电层,在所述第一方向上设置于所述压电体的第一外表面,至少一部分与所述第一电极层或所述第二电极层之间夹着所述压电体的第二区域而设置于所述压电体,通过所述压电体与所述第一电极层及所述第二电极层连接;
所述导电层的厚度在1μm~100μm的范围内选择。
3.根据权利要求1或2所述的压电元件,
包括多个所述第一电极层和多个所述第二电极层,
所述多个第一电极层嵌入所述压电体,
所述第一电极层和所述第二电极层在所述第一方向上隔开间隔而交替地配置。
4.根据权利要求3所述的压电元件,还包括:
第一连接部,在第一方向上延伸,将所述多个第一电极层电连接;以及
第二连接部,在第一方向上延伸,将所述多个第二电极层电连接。
5.根据权利要求4所述的压电元件,还包括:
第一外部电极层,在所述第一方向上设置于所述压电体的第二外表面,连接于所述第一连接部;以及
第二外部电极层,在所述第一方向上设置于所述压电体的第二外表面,连接于所述第二连接部。
6.根据权利要求5所述的压电元件,其中,
所述多个第二电极层中的一个配置于比所述多个第一电极层更靠近所述压电体的所述第二外表面的位置,
所述第一外部电极层的至少一部分在所述第一方向上与所述第二电极层之间夹着所述压电体的第三区域。
7.根据权利要求5或6所述的压电元件,其中,
所述第一外部电极层比所述第二外部电极层的面积大。
8.根据权利要求5-7任一项所述的压电元件,其中,
所述第一外部电极层及所述第二外部电极层由相同的材料形成。
9.根据权利要求5-8任一项所述的压电元件,其中,
所述导电层由与所述第一外部电极层及所述第二外部电极层相同的材料形成。
10.根据权利要求9所述的压电元件,其中,
所述导电层、所述第一外部电极层及所述第二外部电极层包括银。
11.根据权利要求5-10任一项所述的压电元件,其中,
所述导电层的厚度与所述第一外部电极层及所述第二外部电极层的厚度实质上相同。
12.根据权利要求4-11任一项所述的压电元件,其中,
所述第一电极层、所述第二电极层、所述第一连接部及所述第二连接部由相同的材料形成。
13.根据权利要求4-12任一项所述的压电元件,其中,
所述第一电极层、所述第二电极层、所述第一连接部及所述第二连接部包括银和钯。
14.根据权利要求1-13任一项所述的压电元件,其中,
所述导电层覆盖所述第一外表面的一半以上。
15.一种压电元件的制造方法,该压电元件包括:
压电体;
第一电极层,设置于所述压电体;以及
第二电极层,在第一方向上与所述第一电极层之间夹着所述压电体的第一区域而嵌入所述压电体,
其中,该压电元件的制造方法包括:
形成具有导电性的导电层的工序,该导电层在所述第一方向上设置于所述压电体的第一外表面,至少一部分与所述第一电极层或所述第二电极层夹着所述压电体的第二区域而设置于所述压电体,通过所述压电体与所述第一电极层及所述第二电极层连接;
对所述第一区域和所述第二区域施加直流电压的工序。
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