[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 201710266365.2 | 申请日: | 2009-12-25 |
公开(公告)号: | CN107104107B | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 山崎舜平;坂田淳一郎;小山润 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L29/786;H01L21/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 李玲 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体器件,包括电路,所述电路包括:
第一晶体管;
第二晶体管;
第三晶体管;
第四晶体管;
第五晶体管;
第六晶体管;
第七晶体管;
第八晶体管,
其中,所述第一晶体管的源极和漏极之一电连接到第一引线,
其中,所述第二晶体管的源极和漏极之一电连接到第二引线,
其中,所述第一晶体管的源极和漏极中的另一个和所述第二晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到第三引线,
其中,所述第四晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二引线,
其中,所述第三晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二晶体管的栅极,
其中,所述第四晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到所述第二晶体管的栅极,
其中,所述第三晶体管的栅极电连接到所述第三晶体管的源极和漏极中的另一个,
其中,所述第四晶体管的栅极电连接到所述第一晶体管的栅极,
其中,所述第五晶体管的源极和漏极之一电连接到第四引线,
其中,所述第六晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二引线,
其中,所述第五晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到所述第一晶体管的栅极,
其中,所述第六晶体管的栅极电连接到所述第二晶体管的栅极,
其中,所述第七晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二引线,
其中,所述第七晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到所述第一晶体管的栅极,
其中,所述第八晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二引线,
其中,所述第八晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到所述第二晶体管的栅极,
其中,所述第五晶体管的栅极和所述第八晶体管的栅极电连接到第五引线,
其中,所述第七晶体管的栅极电连接到第六引线,以及
其中,所述第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管、第四晶体管、第五晶体管、第六晶体管、第七晶体管和第八晶体管中的每一个包括:具有沟道形成区的氧化物半导体层,所述氧化物半导体层包括In-Sn-Zn-O基半导体或In-Ga-Zn-O基半导体。
2.一种半导体器件,包括电路,所述电路包括:
第一晶体管;
第二晶体管;
第三晶体管;
第四晶体管;
第五晶体管;
第六晶体管;
第七晶体管;
第八晶体管,
其中,所述第一晶体管的源极和漏极之一电连接到第一引线,
其中,所述第二晶体管的源极和漏极之一电连接到第二引线,
其中,所述第一晶体管的源极和漏极中的另一个和所述第二晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到第三引线,
其中,所述第四晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二引线,
其中,所述第三晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二晶体管的栅极,
其中,所述第四晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到所述第二晶体管的栅极,
其中,所述第三晶体管的栅极电连接到所述第三晶体管的源极和漏极中的另一个,
其中,所述第四晶体管的栅极电连接到所述第一晶体管的栅极,
其中,所述第五晶体管的源极和漏极之一电连接到第四引线,
其中,所述第六晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二引线,
其中,所述第五晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到所述第一晶体管的栅极,
其中,所述第六晶体管的栅极电连接到所述第二晶体管的栅极,
其中,所述第七晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二引线,
其中,所述第七晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到所述第一晶体管的栅极,
其中,所述第八晶体管的源极和漏极之一电连接到所述第二引线,
其中,所述第八晶体管的源极和漏极中的另一个电连接到所述第二晶体管的栅极,
其中,所述第五晶体管的栅极和所述第八晶体管的栅极电连接到第五引线,
其中,所述第七晶体管的栅极电连接到第六引线,
其中,所述第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管、第四晶体管、第五晶体管、第六晶体管、第七晶体管和第八晶体管中的每一个包括:具有沟道形成区的氧化物半导体层,所述氧化物半导体层包括In-Sn-Zn-O基半导体或In-Ga-Zn-O基半导体,以及
所述第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管、第四晶体管、第五晶体管、第六晶体管、第七晶体管和第八晶体管中的每一个为底栅型n沟道晶体管。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的