[发明专利]一种高精度双面研磨抛光机

权利要求书

1.一种高精度双面研磨抛光机，包括机座（1）、下研磨装置（10）以及上研磨装置（11），机座（1）内固定设置有第一驱动电机组、第二驱动电机组、第三驱动电机组，下研磨装置（10）包括太阳轮机构（2）、下磨盘（3）、齿圈盘（4），其特征在于，

所述的第一驱动电机组与太阳轮机构（2）连接，第二驱动电机组与下磨盘（3）连接，第三驱动电机组与齿圈盘（4）连接，上研磨装置（11）包括与第四驱动电机组连接的上盘座（111）和上磨盘（110），所述上盘座（111）上还设置有压力补偿平衡器（13）；

所述太阳轮机构（2）的主轴（21）下方设置有第一驱动电机组连接的主轴齿轮（22），底部设置有小三角叉（5），所述小三角叉（5）通过传动杆（51）与主轴（21）上端的大三角叉（52）连接，所述大三角叉（52）上设置有丝杆机构，所述丝杆机构与升降电机（58）连接，所述大三角叉（52）与齿圈盘（4）同轴连接；齿圈盘（4）与同轴装配的主轴（21）之间由内而外地设置有花键套（6）和滑动套（61），且均为同轴设置；滑动套（61）与大三角叉（52）同轴连接，且下端设置有与第三驱动电机组相连的齿圈齿轮（62），所述花键套（6）上端通过下盘座（31）与下磨盘（3）连接，下端设置有与第二驱动电机组相连的磨盘齿轮（32）；

机座（1）上设置有滑鞍（12），所述滑鞍（12）通过螺杆（121）与机座（1）顶部的步进电机（122）连接，所述滑鞍（12）的下端设置有刀架（123）,所述刀架（123）前部上下两端设置有可调节的刀具（124）；

所述下盘座（31）内部采用分区式冷却；

所述下盘座（31）包括圆盘形的上座体（311）和圆盘形的下座体（312），所述下座体（312）上设置有进水槽（313）和出水槽（314），所述进水槽（313）和出水槽（314）均为环形水槽，且同心设置；所述下座体（312）沿径向方向设置有挡筋（3151），所述挡筋（3151）将下座体（312）表面的内凹面分隔为多个扇形冷却腔（315）；所述进水槽（313）底部设置有分水孔（3131），所述分水孔（3131）通过设置于下座体（312）内部的流道（3134）与冷却腔（315）底部的腔内孔（3132）连通；所述扇形冷却腔（315）的外弧形壁上设置有溢流缺口（3141），出水槽（314）通过溢流缺口（3141）与冷却腔（315）的后端相连；所述进水槽（313）的底部设置有进水孔（3133），所述出水槽（314）的底部设置有排水孔（3142）；

所述冷却腔（315）内设置有用于引导水流向的筋条（3152）。

2.根据权利要求1所述的一种高精度双面研磨抛光机，其特征在于，丝杆机构设置有三组，且沿圆周方向均匀设置。

3.根据权利要求1或2所述的一种高精度双面研磨抛光机，其特征在于，所述丝杆机构包括嵌入式设置在大三角叉（52）内部的螺母（521），所述的螺母（521）与转动丝杆（55）通过螺牙连接，所述转动丝杆（55）上设置有从动齿轮（56），底部与机座（1）可转动连接；至少有一个从动齿轮（56）与升降电机（58）的主动齿轮（57）连接。

4.根据权利要求3所述的一种高精度双面研磨抛光机，其特征在于，所述花键套（6）上设置有套筒座（53），所述套筒座（53）上设置有与丝杆机构连接的联动齿轮（54）；所述联动齿轮（54）与从动齿轮（56）之间设置有消间齿轮（541），所述消间齿轮（541）与传动杆（51）同轴装配。

5.根据权利要求1所述的一种高精度双面研磨抛光机，其特征在于，所述上盘座（111）内部采用分区式冷却。