[发明专利]一种供液系统

权利要求书

1.一种供液系统，用于对清洗室提供冲洗玻璃基板的清洗液，其特征在于，包括：供液室、供液管、补液室以及回流管；

供液室，用于储存清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第一温度的第一温控组件；

供液管，用于连通供液室和清洗室，以使供液室通过该供液管向清洗室输送清洗液；

补液室，用于储存预加热的清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第二温度的第二温控组件；该补液室通过传输通道与供液室连通，所述传输通道内设置有第一开关，所述第一开关用于控制该补液室向供液室输送具有第二温度的清洗液，其中，第一温度与第二温度相当；

回流管，用于连通补液室和清洗室，以使清洗室通过该回流管向补液室回流清洗液。

2.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述供液系统包括一箱体，所述箱体内设置有一分隔板，以将所述箱体分隔成所述供液室和所述补液室，所述传输通道设置在所述分隔板上。

3.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述供液箱内设置有第一液位控制组件，以用于控制供液室内清洗液的液位高度。

4.如权利要求3所述的供液系统，其特征在于，第一液位控制组件包括第一控制器和第一液位检测器；

若第一液位检测器检测到供液室内当前液位低于第一液位，第一控制器则用于控制第一开关开启，以使补液室向供液室输送清洗液，直至第一液位检测器检测到当前液位达到第二液位时，第一控制器用于控制第一开关关闭，以使补液室停止向供液室输送清洗液；其中，第二液位高于第一液位，第一液位高于第一温控组件最高点所在液面的液位。

5.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，第一开关为单向电磁阀控制开关。

6.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述供液室具有一侧壁，所述侧壁上开设有具有位置高度差的第一开口和第二开口；所述侧壁上设置有循环管，所述循环管的一端通过第一开口与该供液室连通，所述循环管的另一端通过第二开口与该供液室连通；所述循环管内设置有第二开关，所述第二开关用于控制该供液室内的清洗液通过第一开口经循环管后从第二开口输送至供液室，或者控制该供液室内的清洗液通过第二开口经循环管后从第一开口输送至供液室。

7.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述第一温控组件包括加热丝，所述加热丝包括多个弯折单元，所述多个弯折单元沿着所述供液室的底壁横向分布且依次连接。

8.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述补液室内设置有第二液位控制组件，以用于控制当前补液室内清洗液的液位高度。

9.如权利要求8所述的供液系统，其特征在于，所述补液室上设置有与其腔室连通的排液管，所述排液管上设置有第三开关，第三开关用于控制所述补液室内的清洗液通过所述排液管排出至外界。

10.如权利要求9所述的供液系统，其特征在于，第二液位控制组件包括第二控制器和第二液位检测器；

若第二液位检测器检测到补液室内当前液位高于第三液位，第二控制器则用于控制第三开关开启，使所述补液室内的清洗液通过所述排液管排出至外界，以保持补液室内清洗液的液位不高于第三液位，直至第二液位检测器检测到当前液位降低到第四液位时，第二控制器用于控制第三开关关闭，以使补液室停止向外界排放清洗液；其中，第三液位高于第四液位，第四液位高于第二温控组件最高点所在液面的液位。