[发明专利]三氧化二铝薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201710271598.1 | 申请日: | 2017-04-24 |
公开(公告)号: | CN107130228B | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 王慷慨;熊玉明 | 申请(专利权)人: | 美的集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 赵天月 |
地址: | 528311 广东省佛山市顺德区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 三氧化二铝薄膜 前驱体溶液 基板 制备 气路控制系统 液相化学沉积 产业化生产 气相沉积法 表面沉积 镀膜效率 去离子水 烧结处理 真空维持 致密性好 工艺流程 结晶度 水溶胶 放入 沉积 配置 | ||
1.一种制备三氧化二铝薄膜的方法,其特征在于,包括:
(1)配置前驱体溶液,其中,所述前驱体溶液包括α-Al2O3水溶胶、拟薄水铝石、助剂和去离子水,所述α-Al2O3水溶胶中α-Al2O3的颗粒尺寸不大于80nm、固含量为5~30w/w%,且所述拟薄水铝石的重量与所述α-Al2O3水溶胶和所述去离子水的总重量之比大于0%且不小于50%;
(2)提供干净的基板,并将所述基板放入所述前驱体溶液中进行沉积处理;以及
(3)将表面沉积有所述前驱体溶液的基板进行烧结处理,以便获得镀有所述三氧化二铝薄膜的基板。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述前驱体溶液进一步包括酸,且所述酸包括选自醋酸、柠檬酸、硝酸、盐酸和水杨酸的至少之一。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述助剂包括聚乙烯吡咯烷酮和聚乙二醇的至少之一。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基板由玻璃、不锈钢、微晶玻璃和搪瓷钢的至少一种形成。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述沉积处理的时间为1~60分钟。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述烧结处理的温度为300~1000摄氏度,时间为5~60分钟。
7.一种三氧化二铝薄膜,其特征在于,通过权利要求1~6任一项所述的方法制备的。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理