[发明专利]三氧化二铝薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710271598.1 申请日: 2017-04-24
公开(公告)号: CN107130228B 公开(公告)日: 2019-07-02
发明(设计)人: 王慷慨;熊玉明 申请(专利权)人: 美的集团股份有限公司
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 赵天月
地址: 528311 广东省佛山市顺德区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 三氧化二铝薄膜 前驱体溶液 基板 制备 气路控制系统 液相化学沉积 产业化生产 气相沉积法 表面沉积 镀膜效率 去离子水 烧结处理 真空维持 致密性好 工艺流程 结晶度 水溶胶 放入 沉积 配置
【权利要求书】:

1.一种制备三氧化二铝薄膜的方法,其特征在于,包括:

(1)配置前驱体溶液,其中,所述前驱体溶液包括α-Al2O3水溶胶、拟薄水铝石、助剂和去离子水,所述α-Al2O3水溶胶中α-Al2O3的颗粒尺寸不大于80nm、固含量为5~30w/w%,且所述拟薄水铝石的重量与所述α-Al2O3水溶胶和所述去离子水的总重量之比大于0%且不小于50%;

(2)提供干净的基板,并将所述基板放入所述前驱体溶液中进行沉积处理;以及

(3)将表面沉积有所述前驱体溶液的基板进行烧结处理,以便获得镀有所述三氧化二铝薄膜的基板。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述前驱体溶液进一步包括酸,且所述酸包括选自醋酸、柠檬酸、硝酸、盐酸和水杨酸的至少之一。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述助剂包括聚乙烯吡咯烷酮和聚乙二醇的至少之一。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基板由玻璃、不锈钢、微晶玻璃和搪瓷钢的至少一种形成。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述沉积处理的时间为1~60分钟。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述烧结处理的温度为300~1000摄氏度,时间为5~60分钟。

7.一种三氧化二铝薄膜,其特征在于,通过权利要求1~6任一项所述的方法制备的。

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