[发明专利]基于牺牲层的电极材料转移方法

权利要求书

1.一种基于牺牲层的电极材料转移方法，包括如下步骤：

(1)选用亲水性源衬底并进行清洗，分别使用丙酮，异丙醇各超声3～5分钟，随后用去离子水冲洗，使用氮气枪吹干；

(2)采用电子束蒸发在源衬底上制备具有疏水性质的牺牲层样片；

(3)在牺牲层上滴2到3滴聚酰亚胺溶液，使其覆盖面积略大于样片表面积的一半，随后启动旋涂设备，使得聚酰亚胺溶液均匀的分散于衬片的表面，然后加热固化，取下样片；

(4)用细胶带贴住样片的四周边缘区域并将其固定在托盘上，采用溅射或电子束蒸发在样片上制备电极，工艺完成后将多余的胶带剪掉；

(5)在样片上滴2到3滴光刻胶聚甲基丙烯酸甲酯PMMA，将样片放在旋涂机上进行旋涂，使得光刻胶分散于样片表面，并在加热台上烘胶；

(6)将烘胶后的样片泡在水中，施以稍许应力，使牺牲层与源衬底迅速实现亲水性分离，再采用腐蚀剂对牺牲层进行腐蚀，腐蚀完成后，再用去离子水对有胶带支撑的薄膜进行冲洗，并用氮气吹干；

(7)将冲洗后的薄膜浸入40℃～50℃丙酮中3～5min，然后将其浸泡在异丙醇中1～3min，除去其表面的光刻胶，依次进行去离子水清洗和氮气枪吹干，使电极材料转移到聚酰亚胺薄膜上，且四周附有胶带的支撑不会卷曲；

(8)对准备好的目的衬底进行清洗；

(9)将附着有电极的聚酰亚胺薄膜粘附于目的衬底上，完成电极材料的转移。

2.根据权利要求书1所述的方法，其中步骤(2)中的牺牲层，其厚度280～300nm，以铜或镍为材料，利用电子束蒸发工艺在源衬底上制备形成。

3.根据权利要求书1所述的方法，其中步骤(3)中旋涂机旋涂聚酰亚胺液体，是先将初始旋涂转速设为450～500rpm，保持5～6s；随后将转速稳定到4500～5000rpm，保持40～45s。

4.根据权利要求书1所述的方法，其中步骤(3)中对旋涂聚酰亚胺溶液后的样片进行加热固化，是将样片先升温至100℃后，再在60～65分钟内缓慢升温至166℃，并保温25～30分钟后；再以2℃/min的速度缓慢升温至300℃，并保持10～30分钟，使聚酰亚胺薄膜固化在样片上。

5.根据权利要求书1所述的方法,其中步骤(4)中采用溅射或电子束蒸发在样片上制备电极，以金属钨或银为电极材料，电极钨采用溅射的方法制备，电极银采用电子束蒸发的方法制备。

6.根据权利要求书1所述的方法,其中步骤(5)中旋涂机旋涂光刻胶，是先将初始旋涂转速设为450～500rpm，保持5～6s；随后将转速稳定到3000rpm～3500rpm，保持40～45s。

7.根据权利要求书1所述的方法,其中步骤(5)中对旋涂光刻胶后的样片进行烘胶，是将旋涂光刻胶后的样片在设置为180℃的加热台上保温3～4分钟。

8.根据权利要求书1所述的方法，其中步骤(6)中对牺牲层进行腐蚀的腐蚀剂，是通过在45～50g的氯化铁溶质中添加450～500ml的去离子水配制而成。