[发明专利]一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法

权利要求书

1.一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：包括X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块分别与插排相连，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块分别通过继电器开关与可调电位器相连，所述切换指示模块包括切换开关，所述切换开关一端与电源相连，另一端分别与X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块的继电器线圈相连。

2.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述电源为+5V电源。

3.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述切换指示模块还包括发光二极管，所述发光二极管一端与切换开关相连，另一端通过电阻接地。

4.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述X方向调节旋钮模块中的继电器为电流继电器。

5.按照权利要求4所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述电流继电器的线圈反并联有二极管。

6.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述Y方向调节旋钮模块中的继电器为电流继电器。

7.按照权利要求6所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述电流继电器的线圈反并联有二极管。

8.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述功率调节旋钮模块中的继电器为电流继电器。

9.按照权利要求8所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述电流继电器的线圈反并联有二极管。

10.如权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、首先操作人员拨动坩埚选择开关，选择正确的坩埚号，然后打开坩埚冷却水，旋开观察窗，打开高压控制柜上的高压开关和电流开关；

S2、根据束斑在坩埚中的位置偏离情况，通过手动调节遥控盒的X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，使束斑可以按预期的要求落在坩埚中心；

S3、束斑位置已经确认在坩埚中心，继续缓慢调节遥控盒上的功率旋钮，使高压功率加大，功率要求以能够将坩埚中心位置的金属材料融化即可；

S4、坩埚中心的金属已经融化后，再缓慢调节X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，使坩埚里面金属材料的前后区域以及左右区域都能够完全融化；

S5、当整个坩埚里面的金属材料都已经完全融化，就反复用X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，前后左右来回往复的移动束斑位置，并通过微调遥控盒上的功率旋钮保持高压功率在刚好能够将金属融化的水平；根据金属材料的不同，如上重复扫描3到5分钟，金属即可完全融透；

S6、金属完全融透后，一个坩埚的融料工作就已经完成，先将电子束斑位置调整到坩埚中心，再将功率旋钮旋到最小，最后先关闭高压柜的电流开关，再关闭高压开关；等待坩埚冷却，冷却完成后，再选择另一个坩埚号，重复以上步骤，进行另一个坩埚的融料工作。