[发明专利]一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法

权利要求书

1.一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，包括：

获得待测线条结构的扫描电子显微图像；

截取第一区域，所述第一区域为图像去除干扰区域后的区域；

对所述第一区域内的图像进行沿与线条垂直方向的像素灰度值的平均化处理，获得线条边缘像素分布曲线；

根据所述线条边缘像素分布曲线，确定第一极值范围，进而确定第一边界区域；

对所述第一边界区域内的图像进行局域像素分析，获得边界分布；

根据所述边界分布，计算所述待测线条的宽度和粗糙度，提取所述待测线条的宽度数值和粗糙度数值。

2.根据权利要求1所述的电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，在所述获得待测线条结构的扫描电子显微图像之后，还包括：

确定横向和纵向的每一个像素所代表的实际物理长度。

3.根据权利要求1所述的电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，所述第一区域为不包含以下任意一种或多种的区域：标尺、标注和非关注区域。

4.根据权利要求1所述的电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，所述根据所述线条边缘像素分布曲线，确定第一边界区域，包括：

选择像素第一极值范围内的区域作为基本边界区域，所述像素第一极值范围为像素极值对应宽度的20％～80％；

向所述基本边界区域外拓展第一宽度，所述基本边界区域和所述第一宽度构成所述第一边界区域。

5.根据权利要求1所述的电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，在所述根据所述线条边缘像素分布曲线，确定第一边界区域之后，还包括：

对所述线条边缘像素分布曲线求导，获得斜率绝对值的最大值，与所述第一边界区域进行交集检查，排除干扰区域。

6.根据权利要求1所述的电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，所述对所述第一边界区域内的图像进行局域像素分析，获得边界分布，包括：

选择边界局域区域范围；

筛选或去除不合理像素点；

以平均化局域边界的极大值、极小值为依据计算边界位置。

7.根据权利要求6所述的电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，所述边界局域区域范围在沿线条方向上覆盖至少一个像素区域，所述边界局域区域范围在沿线条方向的最大像素个数不超过背景有用信息包含像素的二分之一。

8.根据权利要求6所述的电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，所述筛选或去除不合理像素点，包括：

沿线条分布方向平均化局域像素值，或加入筛选算法分析孤立的像素值是否明显为独立噪声，或采用最佳曲线拟合的方法进行数据处理，以筛选或去除不合理像素点。

9.根据权利要求1所述的电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，所述计算线条宽度和粗糙度的方法包括：

标准离散分析法，或功率谱密度分析法。