[发明专利]一种基板曝边设备

权利要求书

1.一种基板曝边设备，其特征在于，包括用于承载基板的承载台，所述承载台包括外围的固定装置、设置在所述固定装置上用于承载基板的透明支撑部和被所述透明支撑部包围的中间支撑部，

在基板的曝边制程中，所述透明支撑部能够使曝边光线穿过而不会形成反射光；

所述透明支撑部包括在基板法线方向上与基板重合的支撑区域和将所述支撑区域固定在所述固定装置上的固定区域，所述支撑区域的朝向基板的一侧与基板紧密贴合，所述支撑区域在基板的法线方向上的厚度均匀；

所述固定区域在基板的法线方向上的厚度自所述支撑区域向所述固定装置方向逐渐增加；

在所述承载台的一侧上设置有供机械手将基板放置在承载台上的空缺区域。

2.根据权利要求1所述的曝边设备，其特征在于，所述透明支撑部的材料为玻璃。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的曝边设备，其特征在于，所述固定装置包括固定台和设置在所述固定台与所述透明支撑部之间的高度调节机构，通过所述高度调节机构能够调节所述透明支撑部在沿基板法线方向上的高度。

4.根据权利要求3所述的曝边设备，所述中间支撑部包括支撑柱。

5.根据权利要求4所述的曝边设备，所述中间支撑部还包括真空吸盘。