[发明专利]树脂密封装置和树脂密封方法

说明书

技术领域

本发明涉及树脂密封装置和树脂密封方法。

背景技术

作为向树脂密封装置的模具输送被输送物的机构，通常使用具有卡盘的输送机构，该卡盘用于把持被输送物的宽度方向两端部。

例如，在日本特开2009－147188号公报(专利文献1)中，公开了一种利用卡爪来对收纳有向模具供给的树脂片的树脂保持件的宽度方向两端部进行把持的输送机构。

在日本特开平5－343499号公报(专利文献2)和日本特开2007－260862号公报(专利文献3)中，公开了一种利用臂等来支承工件的下方并对该工件进行移载的输送机构。但是，对于用于向树脂密封装置的成形模输送被输送物的机构来说，要求避免与成形模发生干涉，因此，通常使用专利文献1那样的卡盘机构，而未使用专利文献2和专利文献3所记载的叉子那样的输送机构。

在被输送物宽度较宽且较薄的情况下，若将对宽度方向上的两端部进行把持的卡盘机构作为输送机构，则输送过程中的被输送物的挠曲会变大。近年来，在电子零件的制造工序中，树脂密封前的基板的大型化、薄型化不断发展。若安装零件等的重量相对于基板的刚度相对地变大，则输送过程中的基板的挠曲会变大。若挠曲变大，则容易产生基板的破损、安装零件的变形、成形模内的错位等，从而使成品率降低。

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于，提供能够稳定地向成形模输送基板的树脂密封装置和树脂密封方法。

本发明的树脂密封装置具备：基板输送机构，其包括能够沿上下方向和水平方向移动的爪部和能够对载置在上述爪部上的基板进行保持的基板保持部；成形模，其包括上模、下模以及支承部，模腔形成于上述上模和上述下模中的至少一者，保持在上述爪部上的上述基板能被连同上述爪部一起沿着水平方向插入到上述上模与上述下模之间，该支承部能够在将上述爪部沿着水平方向自上述上模与上述下模之间拔出时支承上述基板；以及合模机构，其用于在将上述基板载置在上述下模上的状态下将上述上模和上述下模合模，从而在上述模腔内对上述基板进行树脂密封。

在一实施方式的上述树脂密封装置中，上述支承部包括能够在将上述爪部沿着水平方向自上述上模与上述下模之间拔出时与上述基板相接触而使上述基板停下的构件。

在一实施方式的上述树脂密封装置中，上述支承部包括能够在上述爪部被自上述上模与上述下模之间拔出的状态下在上述上模与上述下模之间的位置处支承上述基板的构件。

一实施方式的上述树脂密封装置还具备用于对插入到上述上模与上述下模之间的上述基板进行定位的定位机构。

在一实施方式的上述树脂密封装置中，上述成形模还包括能够将上述基板固定在上述下模上的固定机构。

一实施方式的上述树脂密封装置还具备用于载置被插入上述上模与上述下模间之前的上述基板的基板载置部，上述基板载置部包括能够对上述基板的宽度方向两端部进行支承的第1部分和能够对上述基板的宽度方向内侧部进行支承的第2部分。

一实施方式的上述树脂密封装置还具备用于对被进行上述树脂密封之前的上述基板进行加热的加热机构。

在一实施方式的上述树脂密封装置中，在上述加热机构的上表面上形成有与上述爪部的形状相对应的凹部。

本发明的树脂密封方法包括以下工序：将基板保持在基板输送机构的爪部上；准备成形模，该成形模包括上模和下模，模腔形成于上述上模和上述下模中的至少一者；将被保持在上述爪部上的上述基板连同上述爪部一起沿着水平方向插入到上述上模与上述下模之间；在上述上模与上述下模之间支承着上述基板的状态下，将上述爪部沿着水平方向自上述上模与上述下模之间拔出；以及在将上述基板载置在上述下模上的状态下将上述上模和上述下模合模，从而在上述模腔内对上述基板进行树脂密封。

在一实施方式的上述树脂密封方法中，上述爪部包括沿着上述基板的插入方向互相大致平行地延伸的第1爪和第2爪。

一实施方式的上述树脂密封方法还包括用于对被进行上述树脂密封之前的上述基板进行加热的工序。

在一实施方式的上述树脂密封方法中，在上述上模与上述下模之间对被进行上述树脂密封之前的上述基板进行定位。

采用本发明，能够将基板载置在适合于基板的宽度等的爪部上并进行输送，因此，能够抑制基板的挠曲，从而能够稳定地输送基板。

本发明的上述的目的、特征、技术方案、优点以及其他的目的、特征、技术方案、优点根据与附图相关联地进行理解的、与本发明相关的如下详细的说明变得明确。

附图说明