[发明专利]传送盒与半导体制程元件传输系统

说明书

本公开提供一种传送盒，包括底座、控制电路、固定装置。底座设置于传送盒内部。固定装置被配置于底座上方且连接控制电路。固定装置包括传动装置以及固定件。其中，控制电路可通过传动装置选择性地使固定件向底座延伸。本公开提供的传送盒可通过自动化的方式于晶圆厂的不同设备之间传送，借此减少或避免人为搬运所产生的风险。

技术领域

本公开涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种容纳半导体制程元件的传送盒。

背景技术

在半导体制程中，半导体制程元件可能需要在各个阶段中被传送到不同的设备。举例而言，应用于微影技术(Lithography))的掩模(photo mask)可能需要在不同的设备之间传送。一般而言，掩模是放置于掩模盒中以进行传送。若以人力搬运上述掩模盒(例如以推车运送多个掩模盒)，可能会有掉落的风险，或是可能在人力搬运的过程中使上述掩模盒承受额外的振动，导致掩模受到损坏。

因此，需要一种传送盒，可通过自动化的方式于晶圆厂的不同设备之间传送，借此减少或避免人为搬运所产生的风险。

发明内容

本发明一些实施例提供一种传送盒，传送盒包括底座、控制电路、固定装置。底座设置于传送盒内部。固定装置被配置于底座上方且连接控制电路。固定装置包括传动装置以及固定件。控制电路可通过传动装置选择性地使固定件向底座延伸。

本发明一些实施例提供一种半导体制程元件传输系统，包括传送盒以及头顶式升降搬运系统(Overhead Hoist Transport,OHT)。传送盒包括底座、控制电路、固定装置。底座设置于传送盒内部。固定装置被配置于底座上方且连接控制电路。固定装置包括传动装置以及固定件。其中，控制电路可通过传动装置选择性地使固定件向底座延伸。头顶式升降搬运系统被配置以运送传送盒。

附图说明

图1A是依据本发明实施例的传送盒的示意图；

图1B是依据本发明实施例的传送盒与容置盒的示意图；

图2A、2B是依据本发明实施例的半导体制程元件传输系统的示意图；图3是依据本发明实施例的传送盒与容置盒的示意图；

图4A是依据本发明实施例的传送盒的示意图；

图4B是依据本发明实施例的传送盒与容置盒的示意图；

图5A-图5C是依据本发明实施例的传送盒的示意图；

图6A、图6B是依据本发明实施例的固定装置的示意图；

图7A、图7B是依据本发明实施例的传送盒与容置盒的俯视图；

图8A-图8C是依据本发明实施例的距离感测电路的操作示意图。

附图标记说明：

FP1、FP3～传送盒

FD1-FD4～固定装置

C～控制电路

D1、D2～传动装置

FX1～固定件

ST～底座

H～外壳

d1-d3、d41、d51、d52、d81-d83～距离

PD、PD3、PD4～容置盒

200、201～半导体制程元件传输系统

20～轨道

21～搬运车

PW～前开式晶圆传送盒

S～距离感测电路