[发明专利]用于检测透明物中的缺陷的方法和设备

权利要求书

1.一种用于检测透明物中的缺陷的方法，该方法包括以下步骤：

将要检查的透明物设置在彼此相对配置的发光部和光接收部之间；

在所述透明物与所述光接收部之间配置遮光物；

在与所述透明物的表面平行地移动所述遮光物的同时测量所述遮光物的外径测量值；以及

基于所述遮光物的外径测量值的变化，来检测由所述透明物中的缺陷所引起的光路的变化。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，还包括：使用激光扫描式尺寸测量设备，

其中，所述发光部在测量方向上扫描激光束，以及

所述光接收部对所扫描的激光束进行会聚和检测。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，还包括：使用图像传感器式尺寸测量设备，

其中，所述发光部发射线状光线，以及

所述光接收部直接接收所述线状光线。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的方法，其中，

所述遮光物是在测量方向上被扫描的针规。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的方法，其中，

所述遮光物是具有以小于所述透明物中的缺陷的间隔进行分布的明暗区域的固定光学格子。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的方法，其中，

所述透明物是透镜。

7.一种用于检测透明物中的缺陷的装置，所述装置包括：

发光部；

光接收部，其与所述发光部相对设置；以及

遮光物，其设置在所述透明物和所述光接收部之间，

其中，所述装置被配置成：在与所述透明物的表面平行地移动所述遮光物的同时测量所述遮光物的外径测量值，基于所述遮光物的外径测量值的变化，来检测由要检查的透明物中的缺陷所引起的光路的变化，以及

所述透明物被配置在所述发光部和所述光接收部之间。

8.根据权利要求7所述的装置，其中，

所述发光部包括扫描器，所述扫描器用于在测量方向上扫描激光束，以及

所述光接收部为激光扫描式，其包括用于使所扫描的激光束会聚的聚光器。

9.根据权利要求7所述的装置，其中，

所述装置为图像传感器式，

所述发光部包括用于发射线状光线的发射器，以及

所述光接收部包括用于直接接收所述线状光线的接收器。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的装置，其中，

所述遮光物是在测量方向上被扫描的针规。

11.根据权利要求7～9中任一项所述的装置，其中，

所述遮光物是具有以小于所述透明物中的缺陷的间隔进行分布的明暗区域的固定光学格子。

12.根据权利要求7～9中任一项所述的装置，其中，

所述透明物是透镜，以及

所述装置还包括具有与所述透镜的形状相对应的形状的光学元件。