[发明专利]具有红外检测的气体传感器在审
申请号: | 201710282357.7 | 申请日: | 2017-04-26 |
公开(公告)号: | CN106970120A | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 黄晓敏 | 申请(专利权)人: | 黄晓敏 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人: | 冯筠 |
地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 红外 检测 气体 传感器 | ||
1.一种具有红外检测的气体传感器,其特征在于,包含:
硅基板,所述硅基板分为红外检测区、气体传感区和薄膜晶体管;
所述红外检测区包括两个电极和两个电极之间的有机红外检测材料,红外检测区的一个电极连接所述薄膜晶体管的源极或漏极,另一个电极连接电源;
所述气体传感区包括垂直方向设置的底电极、功能层和顶电极,所述底电极连接所述薄膜晶体管的源极或漏极且与探测电路一极连接,所述顶电极连接探测电路另一极;
当所述红外检测区探测到红外线时使薄膜晶体管导通,气体传感区开始工作并通过探测电路探测、输出气体传感数据。
2.如权利要求1所述的具有红外检测的气体传感器,其特征在于,所述气体传感区包括多阵列的气体传感单元,多个所述气体传感单元共用一个电极连接薄膜晶体管的源极或漏极且与探测电路一极连接,另一电极分别连接至探测电路。
3.如权利要求1所述的具有红外检测的气体传感器,其特征在于,所述红外检测区的一个电极连接所述薄膜晶体管的源极,所述底电极连接所述薄膜晶体管的漏极。
4.如权利要求1所述的具有红外检测的气体传感器,其特征在于,所述气体传感区为多个,并且围绕所述红外检测区设置。
5.如权利要求4所述的具有红外检测的气体传感器,其特征在于,每个气体传感区和红外检测区之间均设置一个薄膜晶体管。
6.如权利要求4所述的具有红外检测的气体传感器,其特征在于,所述薄膜晶体管为一个,通过引线电极的方式分别连接各个气体传感区和红外检测区。
7.如权利要求1所述的具有红外检测的气体传感器,其特征在于,所述薄膜晶体管为有机薄膜晶体管,所述红外检测区的有机红外检测材料同时作为所述有机薄膜晶体管的有源层。
8.如权利要求7所述的具有红外检测的气体传感器,其特征在于,所述有机红外检测材料为酞菁钒。
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