[发明专利]通过式片盒片架清洗设备

说明书

本发明涉及一种通过式摇摆干燥片盒/片架清洗设备，可用于半导体、太阳能和LED等行业内对片盒/片架清洗干燥，将片盒/片架放置在承载母篮内，由电气控制器控制清洗、干燥过程，包括了外壳、水清洗结构和气体干燥结构，由进料结构、清洗腔、干燥腔、出料结构依序组装在一起，形成设备的主体部分，在设备主体部分内部安装有输送机构、水路系统、气路系统和电气控制器。本发明通过外壳、进料结构、自动密封门、清洗腔、干燥腔、出料结构、输送机构、片盒/片架承载母篮、水路系统、气路系统和电气控制部分相互之间配合，形成一个自动化程度高的整体设备。满足半导体、太阳能和LED等行业对片盒/片架清洗的高效、洁净的要求。

技术领域

本发明涉及一种通过式片盒片架清洗设备，用于半导体、太阳能和LED等行业内片盒/片架的清洗干燥领域，以有效去除表面附着的颗粒和有机物，并做到片盒、片架干进干出。

背景技术

在目前半导体、太阳能和LED等行业中对于使用后的硅片承载的片盒/片架一般采用的是人工方式清洗，即片盒/片架放置于有含有表面活性剂的超声波水槽中，浸泡一段时间后再用纯水冲洗，最后用气枪将残留的水冲干。这种方式的效率是非常低的，耗时耗人工。

如申请号：201410144428.3涉及一种抛光片载片盒的清洗工艺，它包括以下步骤：在清洗槽内放入纯水并加入亲水性有机溶剂，得到清洗液，将载片盒浸没在清洗槽内的清洗液中浸泡后取出；用纯水对取出的载片盒进行冲洗，直至载片盒表面无明显清洗剂泡沫为止；将冲洗好的载片盒放入清洗架，再将装好载片盒的清洗架放入超声波清洗机的清洗槽内进行超声波清洗，超声波清洗完成后取出载片盒；使用无尘布蘸拭酒精对载片盒表面进行擦拭；使用气枪喷出气体对载片盒进行吹喷干燥；最后将干燥后的载片盒运至洁净室或净化工作台待用。采用发明工艺经过清洗后的载片盒可替代高洁净度的载片盒，不仅省去了高洁净度辅料的成本，而且加强了抛光片表面颗粒的控制。

发明内容

本发明目的在于：提供一种通过式片盒片架清洗设备，以解决片盒/片架清洗干燥过程中的耗时耗人工问题，提高清洗效率，减少人为因素的干扰。

通过下述技术方案实现发明目的：一种通过式片盒片架清洗设备，用于半导体、太阳能和LED等行业内对片盒/片架清洗干燥，将片盒/片架放置在承载母篮内，由电气控制器控制清洗、干燥过程，包括了外壳、水清洗结构和气体干燥结构，所述的进料结构、清洗腔、干燥腔、出料结构依序组装在一起，形成设备的主体部分，在设备主体部分内部安装有输送机构、水路系统、气路系统和电气控制器，所述的输送机构二端分别连接进料结构和出料结构，中间贯通清洗腔、干燥腔，所述的承载母篮经进料结构被放置在输送机构上，清洗、干燥后被送至出料结构上，所述的清洗腔和干燥腔设在外壳内，所述的外壳为封闭结构，在清洗腔进口、清洗腔与干燥腔之间及干燥腔的出口均设密封门一、二、三和位置传感器；所述的水清洗结构，包括清洗腔、水清洗结构的执行机构，设在清洗腔内与水路系统连通的高压喷淋设备由该执行机构控制操作，通过高压喷淋设备清洗片盒/片架；所述的气体干燥结构，包括干燥腔和气体干燥结构的执行机构，设在干燥腔内与气路系统连通的耐温压力喷嘴由该执行机构控制操作，承载母篮随着输送机构在干燥腔内往复运动，采用喷气吹扫干燥片盒/片架，实现喷嘴无死角的吹扫，直至完全干燥；承载母篮随输送机构通过出料端密封门三时，安装在此的除静电装置被打开，以消除高温干燥给承载母篮上带来的静电；除静电的片盒/片架随着承载母篮被输送至出料结构上。

本发明由电气控制器控制各个运动部件和传感器，通过外壳、进料结构、自动密封门、清洗腔、干燥腔、出料结构、输送机构、片盒/片架承载母篮、水路系统、气路系统和电气控制部分相互之间配合，形成一个自动化程度高的整体设备。满足半导体、太阳能和LED等行业对片盒/片架清洗的高效、洁净的要求。可实现片盒/片架的手动或自动清洗、干燥的全过程的连续化，如前一批次清洗的片盒/片架在干燥腔内进行干燥，后一批的片盒/片架在清洗腔内进行清洗，实现整个生产过程连续化。保证片盒/片架的干进、干出，提高清洗效率，减少人为因素的干扰。