[发明专利]分区曝光设备及使用其制造液晶显示器的方法

说明书

本公开涉及一种分区曝光设备及使用其制造液晶显示器的方法，该设备和方法能够在具有COT结构的大尺寸液晶显示器中使用分区曝光通过单个掩模处理在RGBW子像素上均匀地形成PAC层。为此，在交叠区域的中心处的照射强度的总和被控制在120％至130％的范围内，并且在交叠区域的边缘(边界)处从100％逐渐增加。因此，使RGB子像素与W子像素之间的单元间隙统一，因此防止了斑点问题。

技术领域

本发明涉及用于在具有TFT上滤色器(COT)结构的大尺寸液晶显示器中使用曝光形成光丙烯酸层的分区曝光设备，以及使用其制造液晶显示器的方法。

背景技术

通常，液晶显示器是将对应于影像信息的数据信号单独地提供至以矩阵布置的像素并且调节像素的透光率以显示期望图像的显示装置。

因此，液晶显示器包括其中像素以矩阵形式布置的液晶面板和用于驱动像素的驱动部。

液晶面板由阵列基板和滤色器基板、以及形成在阵列基板与滤色器基板之间的单元(cell)间隙中的液晶层构成，阵列基板和滤色器基板彼此面对并且连接在一起以保持均匀的单元间隙。

在具有连接在一起的阵列基板和滤色器基板的液晶面板上形成有公共电极和像素电极，以向液晶层施加电场。

因此，通过在向公共电极施加电压的同时控制施加到像素电极的数据信号的电压，液晶层中的液晶响应于公共电极与像素电极之间的电场由于介电各向异性而转动，因而使得光通过每个像素或阻挡光来显示文本或图像。

为了制造这样的液晶显示器，需要进行多个图案化(掩模)。图案化是一种用于通过如下方式形成预定图案的工艺：通过将光致抗蚀剂涂覆在基板上来形成薄膜，然后通过曝光设备进行曝光，并且然后进行一系列的显影和蚀刻步骤。

对于作为图案化的处理步骤的曝光，目前主要使用步进式曝光或扫描式曝光。

步进式曝光是如下的步进重复曝光：在基板上选择多个场，然后通过缩小投影透镜的曝光区域对相应的场进行曝光，然后顺序地移动到其他未曝光的场以进行曝光。这种方法作为相同放大倍率投影曝光方法的替代方案被提出了。

该方法提供高交叠精度，因为相对于整个单个场检测一个对准标记(alignmentkey)使得能够单次曝光图案化。然而，由于应当从由多个场构成的整个基板的一边到另一边进行多次曝光，所以这也具有其生产率低的缺点。

在步进方法中，在基板和掩模保持不动的同时对落在基板上的光量进行调节，而在作为步进方法的替代方案提出的扫描方法中，通过在曝光期间沿彼此相反的方向以一定的速度比移动基板和掩模来增加曝光面积。

图1是示出常规分区曝光方法的视图。

图1是用于详细说明扫描式曝光方法的曝光图案图，其示出了通过以用于大面积曝光的反复曝光的方式移动掩模台和基板台而获得的曝光图案。

参照图1，以扫描1->移动->扫描2->扫描3的顺序进行曝光，并且以W1、W2、W3示出传输到基板的曝光面上的光照射图案的示例。

根据该操作，以第一曝光部分①->第二曝光部分②->第三曝光部分③的顺序在基板上方形成曝光图案。在这种情况下，还形成了第四曝光部分④(第一曝光部分①和第二曝光部分②的交叠区域)和第五曝光部分⑤(第三曝光部分③和第四曝光部分④的交叠区域)。

此处，第四曝光部分④是由扫描1和扫描2形成的曝光能量交叠区域，并且第五曝光部分⑤是由扫描2和扫描3形成的曝光能量交叠区域。提供至交叠区域中的每个交叠区域的曝光能量的总量，即照射强度的总和等于第一曝光部分①、第二曝光部分②和第三曝光部分③的非交叠区域中的每个非交叠区域中的曝光能量的量。

图2A和图2B是图1的每个区域中的照射强度和照射强度的总和的图。