[发明专利]用于盘驱动器悬架的多层剪切模式PZT微致动器及其制造方法

权利要求书

1.一种用于盘驱动器的悬架，所述悬架包括：

载荷梁；

由所述载荷梁支承的挠性部，所述挠性部包含万向节，所述万向节被构造成具有安装至其的头滑块，所述万向节被构造成在数据盘于所述头滑块下方移动时使得所述头滑块倾斜和转动；以及

至少第一微致动器，所述第一微致动器包含多层PZT器件，所述多层PZT器件具有第一面以及相反的第二面，所述多层PZT器件的每个层被构造成在由激励电压激励时以其d15模式操作，各层被构造为堆栈，以使得每个层被构造成在被激励时沿着同一方向动作，从而所述第一面相对于所述第二面剪切地移动，

所述多层PZT器件的第一面附接至所述载荷梁，并且所述万向节与所述多层PZT器件的同所述第一面相反的第二面操作性连接。

2.根据权利要求1所述的悬架，其特征在于，至少还包括第二微致动器。

3.根据权利要求2所述的悬架，其特征在于，所述第二微致动器包含第二多层PZT器件，所述第二多层PZT器件具有第二多层PZT器件的第一面以及第二多层PZT器件的相反的第二面，第二多层PZT器件的每个层被构造成在由激励电压激励时以其d15模式操作，各层被构造为第二堆栈，以使得每个层被构造成在被激励时沿着同一方向动作，从而所述第二多层PZT器件的第一面相对于所述第二多层PZT器件的第二面剪切地移动。

4.根据权利要求1所述的悬架，其特征在于，所述多层PZT器件的第二面与所述万向节操作性相连，以使得在所述多层PZT器件被激励时，所述第二面被构造成剪切地移动以使得所述万向节移动。

5.根据权利要求3所述的悬架，其特征在于，所述第二多层PZT器件的第一面附接至所述载荷梁的一部分。

6.根据权利要求3所述的悬架，其特征在于，所述第二多层PZT器件的第一面附接至所述载荷梁的一部分，并且所述第二多层PZT器件的第二面与所述万向节操作性相连，以使得在所述多层PZT器件和所述第二多层PZT器件被激励时，各所述第二面剪切地且沿相反方向地移动，因而使得所述头滑块旋转。

7.根据权利要求2所述的悬架，其特征在于，所述第一微致动器和所述第二微致动器位于所述悬架的相反的横向侧部上，并且与所述头滑块并未竖直堆叠。

8.一种多层剪切模式压电器件的制造方法，包括：

形成多个压电层的堆栈，

形成在所述多个压电层的每对压电层之间相应设置的多个导电层，第一导电层位于所述多个压电层的第一压电层的第一外面上以形成所述多层剪切模式压电器件的第一面的至少一半，并且第二导电层位于所述多个压电层的第二压电层的第二外面上以形成所述多层剪切模式压电器件的第二面的至少一半，

横跨所述多个压电层的第一组交替的压电层施加沿第一方向的第一电场，以使得所述第一组交替的压电层极化具有第一极性；

横跨所述多个压电层的第二组交替的压电层施加沿第二方向的第二电场，以使得所述第二组交替的压电层极化具有与所述第一极性相反的第二极性；

施加导电材料将附着于所述第一组交替的压电层上的导电层电连接，以创建第一电极；以及

施加导电材料将附着于所述第二组交替的压电层上的导电层电连接，以创建第二电极，从而横跨所述第一电极和第二电极施加电势造成所述第一组交替的压电层和所述第二组交替的压电层剪切地变形，剪切移动以增量的方式作用，从而所述压电器件整体剪切地变形。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，并非所有的导电层延伸至所述多个压电层的端部。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括从所述多层剪切模式压电器件的至少一个端部去除材料，从而附着在所述第一组交替的压电层上形成的多个导电层是可受电的，并且从而附着在所述第二组交替的压电层上形成的多个导电层是可受电的。