[发明专利]一种多光轴系统光轴平行度检测方法及系统有效
申请号: | 201710288229.3 | 申请日: | 2017-04-27 |
公开(公告)号: | CN106959082A | 公开(公告)日: | 2017-07-18 |
发明(设计)人: | 杨飞;安其昌;赵宏超;姜海波;郭鹏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G01B11/27 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光轴 系统 平行 检测 方法 | ||
【说明书】:
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