[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于，包括：

支撑台，支撑被处理基板；和

靶，

所述靶包括：

背板，具有第一主面、位于所述第一主面相反侧的第二主面、第一侧面、以及位于所述第一侧面的相反侧的第二侧面；

第一母材，被配置在所述第一主面；

第二母材，被配置在所述第二主面；

旋转轴，从所述第一侧面朝向所述第二侧面贯通所述背板；和

循环流路，被设置在所述背板的内部，并形成在与所述旋转轴相比靠近作为所述背板的最外面的所述第一主面和所述第二主面中的至少任意一方的位置，且流动有冷却水，

所述背板的所述第一主面和所述第一母材经由粘接部件接合，并且所述背板的所述第二主面和所述第二母材经由粘接部件接合，

隔着所述靶在所述支撑台的相反侧离开所述靶而设置有磁场生成部。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

在所述旋转轴的内部设置有供给用于溅射的电力的电力供给线路。

3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其中，

所述背板具有与所述第一侧面及所述第二侧面不同的第三侧面，在所述第三侧面经由绝缘部件配置有防着板。