[发明专利]光学非球面面形的检测方法及其装置有效
| 申请号： | 201710293334.6 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107063122B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 田爱玲;赵思伟;王红军;刘丙才;朱学亮;王春慧 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/25 |
| 代理公司： | 61114 西安新思维专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 黄秦芳<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 条纹 非球 光学非球面 面形偏差 面形 调制 非球面面形 成像系统 反射成像 检测装置 旋转对称 非球面 投影 照射 携带 检测 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学非球面面形的检测方法，其特征在于，该方法包括：将逆向补偿条纹从投影方向照射到被测非球面上后，经被测非球面反射成像由成像系统获得携带被测非球面面形信息的调制条纹，根据所述调制条纹获得非球面的面形偏差，根据所述面形偏差确定被测非球面的加工情况；
所述逆向补偿条纹的生成过程为：将一个或多个相移的直条纹投影到理想非球面反射后成像，获得由理想非球面调制的变形条纹；将所述变形条纹以投影的直条纹为对称轴翻转生成逆向补偿条纹；
该方法还包括：当所述被测非球面的位置与逆向补偿条纹投影的位置不对应时，对所述调制条纹进行校准，具体为：根据傅里叶变换或者相移技术对获取的条纹进行相位提取处理，获得相位数据；之后，旋转被测非球面一个角度，同样对获取的调制条纹进行相位提取处理，获得相位数据；最后，旋转被测非球面一周，对获取的一系列调制条纹进行相位提取处理，获得一系列相位数据；在所述一系列相位数据中相位变化最小的调制条纹对应的位置为被测非球面校准最好的位置；
根据所述调制条纹获得非球面的面形偏差，具体为：对所述调制条纹进行相位提取获得所述调制条纹的相位值根据相位值与波前的对应关系式，获得面形偏差W，即
根据所述面形偏差确定被测非球面的加工情况，具体为：根据被测非球面的面形偏差，通过面形偏差与理想非球面的合成，最后获得被测非球面的实际测量面形。
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