[发明专利]具有集成光束成形波导管的陶瓷气体激光器

权利要求书

1.一种激光器，其包括：

陶瓷体，其在其中界定含有激光气体的腔室，所述陶瓷体包含部分界定所述腔室的第一区段的多个平行壁，所述腔室的所述第一区段界定波导管，所述陶瓷体进一步包含部分界定所述腔室的第二区段的多个倾斜壁，所述腔室的所述第二区段经成形以修改穿过所述腔室的所述第二区段行进的激光光束的横向剖面，

第一面镜子，其靠近所述腔室的第一末端而定位，

第二面镜子，其靠近所述腔室的第二末端而定位，所述第二末端与所述第一末端相对，所述第一面镜子及所述第二面镜子在所述腔室的所述第一区段内形成谐振器，及

多个电极，其位于所述陶瓷体的外部且靠近所述多个平行壁，以使得当激发信号施加到所述多个电极时仅激发所述腔室的所述第一区段内的激光气体，

其中所述腔室的所述第一区段和所述第二区段在所述腔室的所述第一末端和所述第二末端之间相邻地延伸，

其中所述激光光束在所述腔室的所述第一末端从所述第一区段进入所述第二区段，并在所述腔室的所述第二末端离开所述第二区段，且

其中所述陶瓷体的所述多个倾斜壁经成形以使得当所述激光光束从所述腔室的所述第一区段进入所述腔室的所述第二区段时，所述激光光束具有椭圆形横向剖面，且当所述激光光束离开所述腔室的所述第二区段时，所述激光光束具有圆形剖面。

2.根据权利要求1所述的激光器，其中所述多个电极经定位以使得当所述激发信号被施加到所述多个电极时不激发所述激光气体靠近所述第一面镜子及第二面镜子的部分。

3.根据权利要求1所述的激光器，其中所述陶瓷体的所述多个倾斜壁之间的距离在所述腔室的所述第一末端与所述腔室的所述第二末端之间增加。

4.根据权利要求1所述的激光器，其中所述陶瓷体由氧化铝Al₂O₃、氧化铍BeO及氮化铝AlN中的至少一者组成。

5.根据权利要求1所述的激光器，其中所述多个电极中的每一者包括一个多段电极。

6.根据权利要求1所述的激光器，其进一步包括经配置以使用射频激发信号激发所述多个电极的能量源。

7.一种激光器，其包括：

含有激光气体的腔室，所述腔室包含：(i)由彼此之间具有恒定间隙的第一多个电介质壁所部分限制的谐振器区段，以及(ii)由彼此之间具有可变间隙的第二多个电介质壁所部分限制的光束成形区段，其中所述第一多个电介质壁为在所述腔室的所述谐振器区段内行进的激光光束界定了波导管，且其中所述第二多个电介质壁经成形以修改在所述腔室的所述光束成形区段内行进的激光光束的横向剖面，

一对镜子，其位于所述腔室的所述谐振器区段的相对的第一末端和第二末端处，及

多个电极，其位于所述腔室外部且靠近所述第一多个电介质壁，以使得当激发信号被施加到所述多个电极时仅激发所述腔室的所述谐振器区段内的激光气体，

其中所述腔室的所述谐振器区段和所述光束成形区段在所述腔室的所述第一末端和所述第二末端之间相邻地延伸，

其中所述激光光束在所述腔室的所述第一末端从所述谐振器区段进入所述光束成形区段，并在所述腔室的所述第二末端离开所述光束成形区段，且

其中所述第二多个电介质壁经成形以使得当所述激光光束从所述腔室的所述谐振器区段进入所述腔室的所述光束成形区段时，所述激光光束具有椭圆形横向剖面，且当所述激光光束离开所述腔室的所述光束成形区段时，所述激光光束具有圆形剖面。

8.根据权利要求7所述的激光器，其中所述腔室由气密陶瓷器皿界定，且其中所述第一多个电介质壁及所述第二多个电介质壁包括所述气密陶瓷器皿的壁。

9.根据权利要求7所述的激光器，其中所述多个电极经定位以使得当所述激发信号被施加到所述多个电极时，不激发所述激光气体靠近所述一对镜子中的每一者的部分。