[发明专利]一种硅片自动化检测分类设备及其控制方法有效
申请号: | 201710293758.2 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN107093566B | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 徐建红 | 申请(专利权)人: | 连江县维佳工业设计有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 11390 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 胡剑辉<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 350000 福建省福州市连江县*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 自动化 检测 分类 设备 及其 控制 方法 | ||
一种硅片自动化检测分类设备,包括传输台、传输带装置、自动分拣装置、控制处理装置、控制台,还包括:超声波探头、高清摄像头、无影灯;所述传输台装置包括主台、二级台、三级台;所述传输带装置还包括传输带,所述传输带包括主传送带、第二传送带、第三传送带,所述传输带装置还包括主驱动电机、第二驱动电机、第三驱动电机;所述自动分拣装置还包括第一机械臂与第二机械臂,所述第一机械臂与第二机械臂上还分别设置有第一吸取装置与第二吸取装置;所述主台还设置有第一测试台与第二测试台,所述第一测试台设置有第一超声波探头,所述第二测试台设置有第二超声波探头、高清摄像头、无影灯;所述控制台显示检测设备的运行状态。
技术领域
本发明涉及硅片检测领域,具体涉及一种硅片自动化检测分类设备及其控制方法。
背景技术
在太阳能单晶硅片在大规模生产中,硅片表面质量检测是重要一环,硅片的外观品质会直接影响到后续的太阳能电池片的制作和转换效率等。由于切割的厚度非常薄且硅的物理性能又非常脆,所以生产过程中常常产生诸如崩边、硅落、缺角以及化学残留色斑等几何和表面缺陷此外,切割过程中由于刀具的问题常常产生有规律方向的锯痕,这些锯痕导致表面的不平整度。
目前,太阳能硅片检测分级方法主要包括:目视以及计算机图像处理两种方式。硅片的人工检验存在着强度大、效率低、主观误差大等诸多缺陷,往往造成产品质量的不稳定,由于人工操作的不确定性,也会对硅片造成二次损伤。计算机图像处理的检测法,利用摄像头采集传输带上的硅片图像传送到处理器中分析,通过分料机构实现太阳能硅片的分拣,但是计算机图像处理无法检测出硅片内部的问题,无法准确对硅片进行分类,且现有技术一般仅对硅片进行一次检测,无法准确将硅片分类,一次检测需要的较长影响生产效率。
发明内容
发明目的:针对背景技术中提到的问题,本发明提供一种硅片自动化检测分类设备及其控制方法。
技术方案:一种硅片自动化检测分类设备,包括传输台、传输带装置、自动分拣装置、控制处理装置、控制台,还包括:第一超声波探头、第二超声波探头、高清摄像头、无影灯;所述传输台装置包括主台、二级台、三级台,所述二级台、三级台与主台垂直且均位于主台一侧,所述主台还有检测入口与检测出口,所述三级台位于检测入口一侧,所述主台的末端为一级品区,所述二级台的末端为二级品区,所述三级台的末端为三级品区;所述传输带装置还包括传输带,所述传输带设置在传输台上,所述传输带包括主传送带、第二传送带、第三传送带,所述主传送带设置于主台,所述第二传送带设置于二级台,所述第三传送带设置于三级台,所述传输带装置还包括主驱动电机、第二驱动电机、第三驱动电机,所述主驱动电机与主传送带电连接,所述第二驱动电机与所述第二传送带连接,所述第三驱动电机与所述第三传送带连接;所述主驱动电机、第二驱动电机、第三驱动电机与控制处理装置电连接;所述自动分拣装置还包括可旋转的第一机械臂与第二机械臂,所述第一机械臂与第二机械臂上还分别设置有第一吸取装置与第二吸取装置,所述自动分拣装置还包括第一机械臂驱动装置、第二机械臂驱动装置、第一吸取驱动装置、第二吸取驱动装置,所述第一机械臂驱动装置与第一机械臂电连接,所述第二机械臂驱动装置与第二机械臂电连接,所述第一吸取驱动装置与第一吸取装置电连接,所述第二吸取驱动装置与第二吸取装置电连接;所述第一机械臂驱动装置、第二机械臂驱动装置、第一吸取驱动装置、第二吸取驱动装置与控制处理装置电连接;所述主台还设置有第一测试台与第二测试台,所述第一测试台设置于主台与三级台连接位置的检测入口一侧,所述第二测试台设置于主台与二级台连接位置的检测入口一侧,所述第一测试台底部设置有第一超声波探头,所述第二测试台底部设置有第二超声波探头、高清摄像头、无影灯,所述第一超声波探头、第二超声波探头、高清摄像头、无影灯与控制处理装置电连接;所述控制台与所述控制处理装置电连接;所述控制台显示检测设备的运行状态,并对检测设备进行操作。
作为本发明的一种优选方式,所述第二测试台还设置有电阻率测试仪,所述电阻率测试仪分别与所述控制处理装置电连接。
作为本发明的一种优选方式,所述传输带为绝缘材质。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造