[发明专利]一种掩膜板及其张网装置、方法

说明书

本申请公开了一种掩膜板及其张网装置、方法，用以提高掩膜板张网精度，提升掩膜板张网质量。本申请实施例提供的一种掩膜板张网装置包括包括用于向沿掩膜板的第一方向延伸的两端施加拉力的第一部件，和用于向沿掩膜板的第二方向延伸的两端施加拉力的第二部件，其中，所述第一方向和所述第二方向确定所述掩膜板所在的面。采用本申请实施例提供的张网装置进行掩膜板张网工艺，对掩膜板可以施加不止一个方向的拉力，即可以实现二维张网，从而避免只沿一个方向拉伸掩膜板造成的掩膜板出现收缩而造成褶皱，从而可以提高掩膜板张网精度，进而可以提升掩膜板张网质量。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板及其张网装置、方法。

背景技术

在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示面板制备过程中，蒸镀使用的精密掩膜板(fine metal mask，FMM)一般采用条状掩膜板 (sheet mask)工艺制备，将整张FMM分割成多条mask，通过张网工艺将多条sheet mask拼接为整张FMM。sheet mask工艺的优点在于：sheet mask制备良率高，成本低，可以单独对出现异常的sheet mask进行更换，有效降低mask 维护成本。如图1所示，将多条sheet mask拼接为整张FMM的张网工艺包括如下步骤：S101、将sheet mask 1在两边用夹爪2夹住；S102、利用夹爪2将 sheet mask 1沿直线X两端拉伸，然后将拉伸后的sheet mask 1焊接在掩膜板框架3(frame)上，图中，黑色区域4代表掩膜板焊接在掩膜板框架3上的部分； S103、重复上述动作，将多条sheet mask拼接成一整张FMM。但是，上述张网工艺，只能一维方向拉伸掩膜板，即只能沿直线X两端延伸的方向拉伸掩膜板，这样，如图2所示，沿直线Y两端延伸的方向上掩膜板会有收缩，导致掩膜板中间位置张网精度和掩膜板两边的张网精度存在差异，尤其是对于厚度小于30微米或开孔密度大于300像素密度(Pixels Per Inch，PPI)的掩膜板，非常容易出现褶皱，张网精度非常低，张网质量非常差。

综上所述，采用现有技术中的掩膜板张网装置进行张网工艺，只能在一维方向张网，导致掩膜板出现收缩造成褶皱，掩膜板张网精度低，张网质量差。

发明内容

本申请实施例提供了一种掩膜板及其张网装置、方法，用以提高掩膜板张网精度，提升掩膜板张网质量。

本申请实施例提供的一种掩膜板张网装置，所述装置包括用于向沿掩膜板的第一方向延伸的两端施加拉力的第一部件，和用于向沿掩膜板的第二方向延伸的两端施加拉力的第二部件，其中，所述第一方向和所述第二方向确定所述掩膜板所在的面。

在一些可选的实现方式中，所述第一部件和/或所述第二部件包括至少两个电磁体部件。

在一些可选的实现方式中，所述第一方向与所述第二方向垂直。

在一些可选的实现方式中，所述装置还包括用于控制所述电磁体部件沿所述第一方向、所述第二方向和第三方向移动的控制部件，其中，所述第三方向垂直于所述掩膜板所在的面。

在一些可选的实现方式中，所述控制部件包括：信号处理模块和执行模块；所述信号处理模块用于提供所述电磁体部件移动的位移；所述执行模块用于根据所述位移，控制所述电磁体部件沿所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向中的任意一个或多个方向移动。

在一些可选的实现方式中，所述控制部件控制每个所述电磁体部件单独工作，或者，所述控制部件控制多个所述电磁体部件协同工作。

在一些可选的实现方式中，在所述掩膜板的两侧均设置所述电磁体部件。

在一些可选的实现方式中，所述电磁体部件包括电磁体本部和驱动该电磁体本部移动的马达。

在一些可选的实现方式中，所述装置还包括用于支撑所述掩膜板的承重基台。