[发明专利]一种高硬耐磨抗热冲击的厚钽涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201710298701.1 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107130212B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 陈明辉;王群昌;王福会 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 21234 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钽涂层 耐磨 抗热冲击 制备 氩气 弹性模量 基体材料表面 抗热冲击性能 体心立方晶格 氮气 磁控溅射 氮气环境 溅射气体 耐磨涂层 直接沉积 综合性能 氮原子 高韧性 高硬度 纳米晶 靶材 纯钽 固溶 | ||
【权利要求书】：
1.一种高硬耐磨抗热冲击的厚钽涂层的制备方法，其特征在于：所述厚钽涂层为纯钽涂层，纯钽涂层结构为体心立方晶格的α相，纯钽涂层的厚度为10～60μm；
在基体材料表面制备纯钽涂层，制备该厚钽涂层采用的方法是磁控溅射，采用氩气和氮气混合气体作为溅射气体，通过氮原子的固溶，提高α-Ta的硬度；同时，降低α-Ta涂层与基体不锈钢之间的热物理性能不匹配度，提高Ta涂层的耐磨以及抗热冲击性能；
所述的高硬耐磨抗热冲击的厚钽涂层的制备方法，磁控溅射的具体工艺参数为：
真空度：P﹤6×10-3Pa；
电弧电流：4.0～4.5A；
功率：2kW；
基体温度：200～250℃；
气压：0.19Pa；其中，氩气流量：8sccm，氮气流量：3～6sccm；
沉积时间：1～5小时。
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