[发明专利]检查装置、检查系统和物品制造方法

权利要求书

1.一种用于执行物体的检查的检查装置，该装置包括：

照明设备，被配置为对物体进行照明；

成像设备，被配置为对由照明设备照明的物体进行成像；以及

处理器，被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理，

其中处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行所述处理。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述处理器被配置为基于第一图像和第二图像针对物体的颜色对该物体执行用于检查的处理。

3.如权利要求2所述的装置，其中所述处理器被配置为基于第一图像的像素值的代表值和第二图像的像素值的代表值执行处理。

4.如权利要求3所述的装置，其中所述处理器被配置为基于第一图像的代表值和第二图像的代表值之间的比或差执行处理。

5.如权利要求1所述的装置，其中所述照明设备包括被配置为发射具有第一波长的光的光源和被配置为发射具有第二波长的光的第二光源。

6.如权利要求1所述的装置，

其中所述照明设备具有改变第一波长和第二波长的功能，并且

其中所述处理器被配置为基于识别物体的识别信息来确定第一波长和第二波长。

7.如权利要求1所述的装置，

其中所述照明设备包括被配置为在特定仰角处从多个方位角分别对物体进行照明的多个光源，并且

其中被配置为发射具有第一波长的光的光源和被配置为发射具有第二波长的光的光源被交替地布置在多个光源中。

8.如权利要求1所述的装置，其中所述第一波长和第二波长中的一个是与物体的颜色和该颜色的互补色中的一个对应的波长。

9.如权利要求8所述的装置，其中所述第一波长和第二波长中的另一个是与物体的颜色和该颜色的互补色中的另一个对应的波长。

10.如权利要求1所述的装置，

其中所述照明设备被配置为用具有第一波长的光和具有第二波长的光来对物体进行照明，

其中所述成像设备被配置为获得与第一波长对应的图像作为第一图像，并且获得与第二波长对应的图像作为第二图像。

11.一种用于执行物体的检查的检查装置，该装置包括：

照明设备，被配置为对物体进行照明；

成像设备，被配置为对由照明设备照明的物体进行成像；以及

处理器，被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理，

其中处理器被配置为基于在照明设备用具有基于物体要具有的颜色的波长的光的照明下由成像设备获得的图像执行用于关于物体的颜色对物体的检查的处理。

12.如权利要求11所述的装置，其中所述波长与所述颜色和该颜色的互补色中的一个对应。

13.如权利要求11所述的装置，其中所述处理器被配置为基于识别物体的识别信息来确定波长。

14.如权利要求13所述的装置，其中所述处理器包括存储指示识别信息和波长之间的对应关系的信息的存储器。

15.如权利要求11所述的装置，

其中所述照明设备被配置为用具有第一波长作为所述波长的光和具有不同于第一波长的第二波长的光对物体进行照明，并且

其中成像设备被配置为获得与第一波长对应的图像作为所述图像。

16.如权利要求11所述的装置，其中所述处理器被配置为执行用于针对物体的颜色不规则性而对物体的检查的处理。

17.一种检查系统，包括：

权利要求1中限定的检查装置；以及

驱动装置，被配置为执行所述检查装置和物体之间的相对移动。

18.一种制造物品的方法，该方法包括以下步骤：

使用权利要求1中限定的检查装置执行物体的检查；以及

对已经被执行检查的物体进行处理以制造物品。

19.一种制造物品的方法，该方法包括以下步骤：

使用权利要求11中限定的检查装置执行物体的检查；以及

对已经被执行检查的物体进行处理以制造物品。