[发明专利]电化学处理器中的密封环有效
| 申请号： | 201710300716.7 | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107275292B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 诺兰·L·齐默曼;乔治·马汀格;格雷戈里·J·威尔逊;埃里克·A·英格哈特;拉姆齐·巴拉穆鲁加恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L23/16 | 分类号： | H01L23/16 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电化学 处理器 中的 密封 | ||
1.一种用于电化学处理器(20)中使用的密封件，包括：
密封环(100)，所述密封环(100)具有平坦、水平顶表面(103)；
圆弧段(110)，所述圆弧段(110)在所述密封环的内径处从所述密封环的所述平坦水平顶表面延伸至所述密封环的垂直直分段(112)；
尖端圆弧(116)，所述尖端圆弧(116)位在所述密封环上，具有在外壁(120)底端处的末端半径(118)，以用于接触在所述电化学处理器中被处理的基板(50)，所述外壁平行于所述垂直直分段；
支撑环(104)，所述支撑环(104)支撑所述密封环，所述支撑环的内边缘插入在所述密封环中的面向外的水平凹槽(106)。
2.如权利要求1所述的密封件，所述尖端圆弧在与基板啮合期间在所述基板无滑移的情况下压缩。
3.如权利要求1所述的密封件，其中所述外壁为直的且垂直的，并且所述外壁平行于所述垂直直分段(112)。
4.如权利要求1所述的密封件，所述密封环的高度为1.25mm至5mm。
5.如权利要求1所述的密封件，其中所述密封环的内径为294.6mm至295.7mm。
6.如权利要求1所述的密封件，所述尖端圆弧具有曲度以在所述末端半径(118)处接触晶片上的窄环形表面。
7.如权利要求1所述的密封件，所述末端半径具有0.025mm至0.125mm的曲率半径。
8.如权利要求1所述的密封件，其中所述支撑环包含金属，并且所述密封环包含氟橡胶。
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