[发明专利]一种电解反应系统、酸性蚀刻液再生及提铜工艺在审
申请号: | 201710301200.4 | 申请日: | 2017-05-02 |
公开(公告)号: | CN107059012A | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 章平传 | 申请(专利权)人: | 广州合凯环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司11616 | 代理人: | 戴翔 |
地址: | 511400 广东省广州市番禺*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电解 反应 系统 酸性 蚀刻 再生 工艺 | ||
1.一种电解反应系统,其特征在于,电解槽,电解槽内设置用于放置阴极板的阴极室和用于放置阳极板的阳极室,所述阳极室采用阳离子膜包围,所述阳离子膜使得阴极室和阳极室相互隔离;
所述阴极室内容置蚀刻废液,阳极室内容置稀硫酸。
2.根据权利要求1所述的电解反应系统,其特征在于,还包括:阳极液调节槽,废液储罐和再生液调节罐;
所述阳极液调节槽的出口与阳极室的入口连接;阳极室出口与阳极液调节槽的入口连接,从而形成阳极液的闭路循环;
所述废液储罐的出口与阴极室的入口连接,阴极室的出口与再生液调节罐连接。
3.根据权利要求1或2所述的电解反应系统,其特征在于,所述阴极室和阳极室间隔设置为多组。
4.根据权利要求1或2所述的电解反应系统,其特征在于,所述阳离子膜的厚度为0.6-0.7mm。
5.根据权利要求1或2所述的电解反应系统,其特征在于,所述反应系统还包括氧气导管,所述氧气导管连通阳极室及阴极室,将由阳极产生的氧气注入到阴极室中。
6.根据权利要求1或2所述的电解反应系统,其特征在于,所述阳极板为析氧型DSA铱钛阳极板,所述阴极板为钛电极板。
7.采用上述权利要求1-6任意一项所述的电解反应系统进行的酸性蚀刻液再生及提铜工艺,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1)将稀硫酸加入阳极室内,待再生的蚀刻废液加入阴极室中;
步骤2)连通电源进行电解;
步骤3)电解过程在阳极室中不断补充水,以保持阳极室酸度的平衡。
8.根据权利要求7所述的酸性蚀刻液再生及提铜工艺,其特征在于,电解过程的电流密度为3-4A/dm2;所述稀硫酸的浓度范围为10%-30%。
9.根据权利要求8所述的酸性蚀刻液再生及提铜工艺,其特征在于,电解过程的电流密度为4A/dm2;所述稀硫酸的浓度范围为20%。
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