[发明专利]一种电解反应系统、酸性蚀刻液再生及提铜工艺在审

专利信息
申请号: 201710301200.4 申请日: 2017-05-02
公开(公告)号: CN107059012A 公开(公告)日: 2017-08-18
发明(设计)人: 章平传 申请(专利权)人: 广州合凯环保科技有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司11616 代理人: 戴翔
地址: 511400 广东省广州市番禺*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 电解 反应 系统 酸性 蚀刻 再生 工艺
【权利要求书】:

1.一种电解反应系统,其特征在于,电解槽,电解槽内设置用于放置阴极板的阴极室和用于放置阳极板的阳极室,所述阳极室采用阳离子膜包围,所述阳离子膜使得阴极室和阳极室相互隔离;

所述阴极室内容置蚀刻废液,阳极室内容置稀硫酸。

2.根据权利要求1所述的电解反应系统,其特征在于,还包括:阳极液调节槽,废液储罐和再生液调节罐;

所述阳极液调节槽的出口与阳极室的入口连接;阳极室出口与阳极液调节槽的入口连接,从而形成阳极液的闭路循环;

所述废液储罐的出口与阴极室的入口连接,阴极室的出口与再生液调节罐连接。

3.根据权利要求1或2所述的电解反应系统,其特征在于,所述阴极室和阳极室间隔设置为多组。

4.根据权利要求1或2所述的电解反应系统,其特征在于,所述阳离子膜的厚度为0.6-0.7mm。

5.根据权利要求1或2所述的电解反应系统,其特征在于,所述反应系统还包括氧气导管,所述氧气导管连通阳极室及阴极室,将由阳极产生的氧气注入到阴极室中。

6.根据权利要求1或2所述的电解反应系统,其特征在于,所述阳极板为析氧型DSA铱钛阳极板,所述阴极板为钛电极板。

7.采用上述权利要求1-6任意一项所述的电解反应系统进行的酸性蚀刻液再生及提铜工艺,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1)将稀硫酸加入阳极室内,待再生的蚀刻废液加入阴极室中;

步骤2)连通电源进行电解;

步骤3)电解过程在阳极室中不断补充水,以保持阳极室酸度的平衡。

8.根据权利要求7所述的酸性蚀刻液再生及提铜工艺,其特征在于,电解过程的电流密度为3-4A/dm2;所述稀硫酸的浓度范围为10%-30%。

9.根据权利要求8所述的酸性蚀刻液再生及提铜工艺,其特征在于,电解过程的电流密度为4A/dm2;所述稀硫酸的浓度范围为20%。

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