[发明专利]pMUT及pMUT换能器阵列的电极配置

权利要求书

1.一种压电微机械超音波换能器(pMUT)，其包含：

第一电极，其具有第一电极部及第二电极部，该第二电极部可与该第一电极部分开操作，

第二电极，其与该第一电极隔开，并且在该第一电极与该第二电极间界定空间，其中，该第二电极被沉积于硅被动膜层上，该硅被动膜层被沉积于隔离介电质上，及该隔离介电质被沉积于支撑结构上，以及

压电材料，其是设置于该空间中。

2.根据权利要求1所述的压电微机械超音波换能器，其中，该第一电极呈圆形，并且该第一电极部包含该电极的第一半圆形部，且该第二电极包含该电极的第二半圆形部。

3.根据权利要求1所述的压电微机械超音波换能器，其中，该第一电极呈圆形，并且该第一电极部包含该电极的第一半环形部，且该第二电极包含该电极的第二半环形部。

4.根据权利要求1所述的压电微机械超音波换能器，其中，该第一电极呈圆形，并且该第一电极部包含该电极的第一半圆形部及该电极的第一半环形部，且该第二电极包含该电极的第二半圆形部及该电极的第二半环形部。

5.根据权利要求1所述的压电微机械超音波换能器，其中，该第一电极呈圆形，并且该第一电极部呈环形，且该第二电极部与该第一电极部呈同心环形。

6.根据权利要求1所述的压电微机械超音波换能器，其中，该第一电极部与该第二电极部用于对应地传送超音波，并且接收该超音波的反射部分。

7.根据权利要求1所述的压电微机械超音波换能器，其中，可分别定址的该第一电极部与该第二电极部包含该第一电极部，并且可分开激发或感测该第二电极部。

8.根据权利要求1所述的压电微机械超音波换能器，其中，该第一电极部可列定址作为换能器阵列的部分，并且该第二电极部可行定址作为该换能器阵列的部分。

9.一种换能器阵列，其包含：

多个压电微机械超音波换能器(pMUT)，其中，各pMUT具有含第一电极部与第二电极部的第一电极，该第二电极部与该第一电极部属于可分开定址，

第二电极，其与该第一电极隔开并且在该第一电极与该第二电极间界定空间，其中，该第二电极被沉积于硅被动膜层上，该硅被动膜层被沉积于隔离介电质上，及该隔离介电质被沉积于支撑结构上，以及

压电材料，其是设置于该空间中；

各pMUT的该第一电极部耦合至第一电连接；

各pMUT的该第二电极部耦合至与该第一电连接不同的第二电连接；以及

该第二电极耦合至参考。

10.根据权利要求9所述的换能器阵列，其中，第一多个第一电极部耦合至第一列电连接，并且第二多个第一电极部耦合至与该第一列电连接不同的第二列电连接。

11.根据权利要求9所述的换能器阵列，其中，第一多个第二电极部耦合至第一行电连接，并且第二多个第二电极部耦合至与该第一行电连接不同的第二行电连接。

12.根据权利要求9所述的换能器阵列，其中，第一多个pMUT具有各别该第一与第二电极部的第一组态，并且第二多个pMUT具有该第一与第二电极部的与该第一组态不同的第二组态。

13.根据权利要求9所述的换能器阵列，其中，第一多个pMUT具有选自由该第一与第二电极部的至少五种可能组态所组成群组的各别该第一与第二电极部的第一组态，并且第二多个pMUT具有选自由该第一与第二电极部的至少五种可能组态所组成群组的该第一与第二电极部的与该第一组态不同的第二组态。

14.根据权利要求9所述的换能器阵列，其中，该第一电极部可选择性列定址，而该第二电极部可选择性行定址。