[发明专利]基于分段传送的连续式线型磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201710306203.7 | 申请日： | 2017-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN106987822B | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 关江敏;王长梗;李衍辉 | 申请（专利权）人： | 北京创世威纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京尚德技研知识产权代理事务所(普通合伙) 11378 | 代理人： | 陈晓平 |
| 地址： | 100085 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 分段 传送 连续 线型 磁控溅射 镀膜 | ||
【说明书】：
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