[发明专利]一种用于透射式光学系统倾斜小角度的装置及使用方法有效
申请号: | 201710306942.6 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN106950674B | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 王方;胡东霞;刘长春;张鑫;林东晖;康民强;邓颖;粟敬钦;郑奎兴;朱启华;郑万国 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G02B27/00;G02B27/62 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 刘洪勋 |
地址: | 621900 四川省绵*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 透射 光学系统 倾斜 角度 装置 使用方法 | ||
1.一种用于透射式光学系统倾斜小角度的装置,其特征在于,包括:
光源组件,其包括五维调整台和激光器;
光学系统组件,其包括调试基准台、夹持件和透射式光学系统,所述透射式光学系统包括物方节点和像方节点,其通过夹持件与调试基准台连接;
小孔组件,其包括位于透射式光学系统光轴上的第一小孔、第二小孔和第三小孔,所述第一小孔、光学系统组件、第二小孔和第三小孔沿着激光束的传输方向依次排列,所述小孔组件下方设置有二维调整台;
以及检测组件,其位于透射式光学系统的光轴外侧,所述检测组件与小孔组件对应设置,用于检测激光束是否位于小孔组件的中心;
使用时,调节二维调整台,促使第一小孔、第二小孔和第三小孔位于透射式光学系统的光轴上,调整五维调整台,促使激光器输出的激光束同时穿过第一小孔、第二小孔和第三小孔,并使用检测组件对小孔组件上的光斑位置进行监视,确保光斑位于小孔组件的中心处,降低第二小孔和第三小孔相同高度,调节透射式光学系统的姿态使其倾斜小角度,保证激光束再次同时穿过第二小孔和第三小孔,且光斑位于小孔组件的中心处。
2.根据权利要求1所述的一种用于透射式光学系统倾斜小角度的装置,其特征在于,所述激光器位于五维调整台上,其输出平行激光束,所述激光束的直径为3mm-5mm。
3.根据权利要求1所述的一种用于透射式光学系统倾斜小角度的装置,其特征在于,所述小孔组件的孔径为0.2mm-5mm,所述第一小孔与第二小孔的间距以及第二小孔与第三小孔的间距均为200mm-1500mm。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种用于透射式光学系统倾斜小角度的装置,其特征在于,所述检测组件包括第一摄像头、第二摄像头和第三摄像头,其中,所述第一摄像头与第一小孔对应设置,所述第二摄像头与第二小孔对应设置,所述第三摄像头与第三小孔对应设置。
5.根据权利要求4所述的一种用于透射式光学系统倾斜小角度的装置,其特征在于,所述二维调整台和五维调整台的调整精度均优于0.01mm。
6.根据权利要求4所述的一种用于透射式光学系统倾斜小角度的装置,其特征在于,所述小孔组件为铝制结构或钢制结构。
7.根据权利要求1所述的一种用于透射式光学系统倾斜小角度的装置,其特征在于,所述透射式光学系统的物方节点和像方节点距离为L,激光束入射到物方节点上后经像方节点出射,降低第二小孔和第三小孔相同高度h并调节透射式光学系统的姿态后,入射激光束与透射式光学系统的光轴夹角为α,出射激光束与透射式光学系统的光轴夹角为β,且,入射激光束与出射激光束在垂直于激光束的方向上产生位移量d,且,其中,α为透射式光学系统需要倾斜的小角度。
8.根据权利要求7所述的一种用于透射式光学系统倾斜小角度的装置,其特征在于,根据透射式光学系统需要倾斜的小角度α,计算出第二小孔和第三小孔的下降高度h并调节高度,调节透射式光学系统的姿态,使激光束再次同时穿过第二小孔和第三小孔,并确保光斑位于小孔组件的中心处,此时,透射式光学系统的姿态即为其倾斜小角度后的姿态。
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