[发明专利]频谱检查装置

说明书

本公开提出一种频谱检查装置，包括：一感测单元阵列，包括一第一感测单元及一第二感测单元；一双带通滤波器，配置在该感测单元阵列上以覆盖该第一感测单元及该第二感测单元，其中该双带通滤波器允许光线中的一第一波段及一第二波段通过；以及一滤波器，配置于该双带通滤波器上且覆盖该第二感测单元，其中该滤波器允许光线中波长长于一第一波长的光通过，其中该第一波长长于该一波段的波峰波长且短于该第二波段的波峰波长。

技术领域

本公开涉及一种频谱检查装置，且特别有关于一种够用简单的构造感测到入射光的至少两个波峰的频谱检查装置。

背景技术

有一种传统的频谱仪的技术是根据法布立-培若干涉理论(Fabry-Perotinterference theorem)。根据法布立-培若干涉理论，一具有特定厚度的窄带通滤波器能够让光线的特定波段通过。因此，能够将不同厚度的窄带通滤波器配置在感测单元(或像素)上，使得每个感测单元能够个别地捕捉到需要的光线波段。然而，多个窄带通滤波器的厚度变动会让制程变成相当复杂。

另一个改变窄带通滤波器的厚度的方法是将滤波层设计成楔形。然后，因为这是一种线性的设计，所以这种频谱仪只能测量样本的线性光谱，无法拍摄2D影像。这种频谱仪的应用会受到限制。

又，还有另一种频谱仪是使用一个多层膜干涉滤波器使光线中的四个窄波段通过，然后使用一个吸收滤波器图样来捕捉这四个窄波段的每一者。然而，在一个限定的波段300～1100nm(这是以硅基底做成检测器的可感测到的波段)内，要镀出能够让四个窄波段通过的多层膜层是很困难的。如果多层膜层只需要让两个窄波段通过的话，那制造上就会变得简单许多。

虽然这些传统的频谱仪大致可以满足它们原本要应用的目的，但确无法同时满足各个方面的需求。因此，希望能够提出一个能够改善现有的频谱仪的解决方案。

发明内容

详细的说明在以下配合附图的实施例中。

本公开提出一种频谱检查装置，包括：一感测单元阵列，包括一第一感测单元及一第二感测单元；一双带通滤波器，配置在该感测单元阵列上以覆盖该第一感测单元及该第二感测单元，其中该双带通滤波器允许光线中的一第一波段及一第二波段通过；以及一滤波器，配置于该双带通滤波器上且覆盖该第二感测单元，其中该滤波器允许光线中波长长于一第一波长的光通过，其中该第一波长长于该一波段的波峰波长且短于该第二波段的波峰波长。

在上述的频谱检查装置中，该第一感测单元产生一第一强度值，该第二感测单元产生一第二强度值。对应到该第一波段的一第一频谱值从该第一强度值减去该第二强度值获得，对应该第二波段的一第二频谱值从该第二强度值获得。

在另一实施例中，上述的频谱检查装置还包括：

一第二双带通滤波器，配置在该感测单元阵列上；以及一第二滤波器，配置在该第二双带通滤波器上。该感测单元阵列包括一第三感测单元及一第四感测单元。该第二双带通滤波器覆盖该第三感测单元及该第四感测单元，且允许光线中的一第三波段及一第四波段通过。该第二滤波器覆盖该第四感测单元，且允许光线中波长长于一第二波长的光通过。该第二波长长于该三波段的波峰波长且短于该第四波段的波峰波长。

在上述的频谱检查装置中，该第三波段的波峰波长长于该第一波段的波峰波长且短于该第二波段的波峰波长，该第四波段的波峰波长长于该第二波段的波峰波长。

在上述的频谱检查装置中，该第一感测单元产生一第一强度值，该第二感测单元产生一第二强度值，该第三感测单元产生一第三强度值，该第四感测单元产生一第四强度值。对应到该第一波段的一第一频谱值从该第一强度值减去该第二强度值获得，对应该第二波段的一第二频谱值从该第二强度值获得。对应到该第三波段的一第三频谱值从该第三强度值减去该第四强度值获得，对应该第四波段的一第四频谱值从该第四强度值获得。