[发明专利]一种可柔性变倍的离轴数字全息测量装置

权利要求书

1.一种可柔性变倍的离轴数字全息测量装置，其特征在于，包括激光器1、第一反射镜2、扩束准直单元3、第二反射镜4、电控变焦透镜5、显微物镜6、分光镜7、平面镜8、成像设备10以及计算机11；所述电控变焦透镜5、显微物镜6、分光镜7和平面镜8构成同轴光学系统；被测物体9中心、分光镜7中心和成像设备10中心在同一竖直线上；工作原理如下：激光器1产生激光，激光通过第一反射镜2后进入至扩束准直单元3；经扩束准直单元3后形成的平行光通过第二反射镜4后再次反射至电控变焦透镜5；此时平行光经电控变焦透镜5和显微物镜6组成的光学系统后进入分光镜7，随后被分成两束光波；其中一束光波经平面镜8反射后作为参考光进入成像设备10；另一束光波经被测物体9表面反射后作为物光进入成像设备10；调节平面镜8来控制参考光与物光的夹角，使物光与参考光干涉产生一幅离轴数字全息图并由成像设备10记录；最后通过数值重构算法计算得到被测物体的相位信息。

2.根据权利要求1所述的一种可柔性变倍的离轴数字全息测量装置，其特征在于：所述电控可变焦透镜5是通光口径大于10mm的焦距可调透镜，外加0~5V的控制电压，焦距可快速调整为-667mm~286mm 范围内的某一个特定值，响应时间小于2.5毫秒。

3.根据权利要求1所述的一种可柔性变倍的离轴数字全息测量装置，其特征在于：所述电控可变焦透镜5和显微物镜6组成的光学系统具有数值孔径连续可变的特性，且数值孔径NA值调节范围最大超过0.1。