[发明专利]用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备

权利要求书

1.一种真空转移设备(100)，包括：

真空腔(10)，包括腔体(12)；

二维样品驱动模块(30)，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的二维驱动杆(35)，所述二维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第一样品；以及

四维样品驱动模块(50)，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的四维驱动杆(57)，所述四维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第二样品，

其中，所述二维驱动杆能在二维平面内调整所述第一样品的位置，所述四维驱动杆能在三维空间内调整所述第二样品的位置，并且能绕与所述二维平面垂直的轴旋转所述第二样品，从而使所述第一样品与所述第二样品彼此贴附在一起；所述真空腔还包括形成在所述腔体上的一个或多个观察窗，并且至少一个观察窗用于连接到显微镜以通过显微镜观察所述第一样品和所述第二样品的位置；且所述腔体(12)上形成有第一接口(13)和第二接口(14)，所述第一接口(13)用于安装所述四维样品驱动模块，所述第二接口(14)用于安装所述二维样品驱动模块，所述第一接口(13)和所述第二接口(14)分别设置在所述腔体(12)的上下表面上并且错开一距离，用于连接到显微镜的所述至少一个观察窗设置在所述腔体的所述第二接口一侧并且对准所述第一接口。

2.如权利要求1所述的真空转移设备，其中，所述真空腔还包括形成在所述腔体上的第三接口(23)，所述第三接口(23)用于连接到抽气泵(11)。

3.如权利要求2所述的真空转移设备，其中，所述真空腔还包括形成在所述腔体上的至少一个舱门(15)，所述舱门能打开和密封地闭合，从而用于将所述第一样品和所述第二样品装入到所述腔体内和从所述腔体内取出。

4.如权利要求3所述的真空转移设备，其中，所述真空腔还包括形成在所述腔体上的一个或多个扩展接口，以用于安装真空计和破真空阀中的一个或多个。

5.如权利要求3所述的真空转移设备，其中，所述四维样品驱动模块(50)包括设置在所述四维驱动杆(57)的延伸到所述真空腔内的一端的样品台(58)，所述二维样品驱动模块(30)包括设置在所述二维驱动杆(35)的延伸到所述真空腔内的一端的样品托架(36)，所述样品托架(36)沿垂直于所述二维驱动杆的方向延伸到所述样品台下方。

6.如权利要求1所述的真空转移设备，其中，所述二维样品驱动模块(30)包括位于所述真空腔外的第一调节旋钮和第二调节旋钮，以用于在二维平面内调整所述二维驱动杆的位置，且

其中，所述四维样品驱动模块(50)包括位于所述真空腔外的第一、第二和第三调节旋钮，以用于在三维空间内调整所述四维驱动杆的位置，并且所述四维样品驱动模块(50)还包括位于所述真空腔外的第四调节旋钮以用于调整所述四维驱动杆旋转。

7.如权利要求5所述的真空转移设备，其中，所述样品台包括用于插入样品托(65)的凹槽和用于压紧所述样品托的压片螺丝(61)，所述样品托上具有用于压紧样品载片的压片螺丝(64)。

8.如权利要求5所述的真空转移设备，其中，所述样品托架上形成有对着所述样品托的开口，所述开口具有凹陷周边以用于容纳透明样品载片，所述样品托架上还形成有用于压紧所述透明样品载片的压片螺丝(37)。