[发明专利]一种超润滑固体涂层制备方法有效
| 申请号： | 201710316783.8 | 申请日： | 2017-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN107130223B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳晓平;张旭;张丰收;吴先映;罗军;庞盼 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/32;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多相混合 关键部件 沉积 固体润滑涂层 基材表面 机械设备 金属真空 蒸汽离子 制备 磁过滤阴极真空弧沉积 进气口 乙炔 超低摩擦系数 硫化氢气体 膜基结合力 应力释放层 表面制备 沉积系统 服役寿命 固体润滑 固体涂层 合金靶材 超润滑 磁过滤 钉扎层 结合力 源系统 配比 合金 金属 | ||
1.一种超润滑固体涂层制备方法，其特征在于，包括：
沉积膜层体系为多相混合固体润滑TiC-MoS2-Ni/Ti-(a：H-C)涂层；
采用注入方法为金属真空蒸汽离子源(MEVVA)注入：在表面注入金属元素，形成金属″钉扎层″，基材为机械设备关键耐磨、抗磨损部件，金属元素为TiMoNi合金靶材，靶材成分20-80％的Ti，30-50％的Mo，20-40％的Ni，其注入电压为4～12kV，束流强度为1～10mA，注入剂量为1×1015～1×1017/cm2，注入深度为70～120nm；
第一层涂层沉积：采用沉积方法为磁过滤沉积技术(FCVA)，在表面沉积第一层合金过渡层，采用的靶材为TiMoNi合金靶材，靶材成分20-80％的Ti，30-50％的Mo，20-40％的Ni，起弧电流90-120A，弯管磁场2.0～4.0A，束流200～800mA，顺序采用负压-800V、-600V、-400V、及-300V进行沉积；
第二层涂层沉积：采用金属真空蒸汽离子源(MEVVA)和磁过滤沉积技术(FCVA)沉积第二层多相混合固体润滑TiC-MoS2-Ni/Ti-(a：H-C)涂层，采用的靶材为为TiMoNi合金靶材，靶材成分20-80％的Ti，30-50％的Mo，20-40％的Ni，起弧电流90～120A，弯管磁场3.0～4.0A，负压-300～600V，沉积时间10～120min，占空比为20～100％，乙炔进气量为100～250sccm，硫化氢进气量为30-80sccm。
2.根据权利要求1所述的超润滑固体涂层制备方法，其膜层厚度特征为：第一层涂层的厚度为10-500nm，第二层涂层厚度1-10μm。
3.超润滑固体涂层， 其特征在于，采用权利要求1或2任一项所获得。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京师范大学，未经北京师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710316783.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
