[发明专利]静重式微小力值标准装置用气浮轴承支撑主梁系统

权利要求书

1.一种静重式微小力值标准装置用气浮轴承支撑主梁系统，包括：

气浮轴承，所述气浮轴承固定在基座上；

主梁，所述主梁由所述气浮轴承提供单一自由度支撑；

配重平衡机构，所述配重平衡机构与所述主梁一端连接；

平衡微调机构，所述平衡微调机构与所述主梁中部连接；

间隙夹紧机构，所述间隙夹紧机构对称布置于所述主梁两侧；

激光位移传感器，所述激光位移传感器对称布置在基座上。

2.根据权利要求1所述的气浮轴承支撑主梁系统，其中，所述配重平衡机构为内置式，包括外体、长螺杆、配重砣；所述长螺杆和所述配重砣位于所述外体内部。

3.根据权利要求1所述的气浮轴承支撑主梁系统，其中，所述配重平衡机构与所述主梁通过螺栓固定连接。

4.根据权利要求1所述的气浮轴承支撑主梁系统，其中，所述主梁与所述气浮轴承通过主轴连接，所述主梁通过所述气浮轴承的转子和定子间气膜支撑。

5.根据权利要求4所述的气浮轴承支撑主梁系统，其中，所述主梁用圆螺母与所述主轴进行固定。

6.根据权利要求1所述的气浮轴承支撑主梁系统，其中，所述平衡微调机构上设置有多组配秤砣，用于调节主梁平衡。

7.根据权利要求1所述的气浮轴承支撑主梁系统，其中，所述间隙夹紧机构包括两套直线移动模组；所述两套直线移动模组相对于所述气浮轴承的中心线对称布置。

8.根据权利要求1所述的气浮轴承支撑主梁系统，其中，所述主梁采用钛合金制造，并开有减重孔。

9.根据权利要求1所述的气浮轴承支撑主梁系统，其中，所述气浮轴承采用纯净无杂质的气体作为轴承的摩擦介质。