[发明专利]喷嘴清扫装置、涂覆装置及喷嘴清扫方法

说明书

本发明提供喷嘴清扫装置、涂覆装置及喷嘴清扫方法。根据本发明，能够抑制为了清扫狭缝喷嘴(2)而在狭缝喷嘴(2)上滑动的刮除器(61B)的磨损。刮除器(61B)在狭缝喷嘴(2)的唇部(24)的倾斜面(26)上滑动之前，喷洒器(61A)事先在倾斜面(26)上喷洒冲洗液(Lb)。因此，刮除器(61B)在狭缝喷嘴(2)的唇部(24)的倾斜面(26)上滑动时，由喷洒器(61A)事先喷洒的冲洗液(Lb)能够进入狭缝喷嘴(2)的唇部(24)的倾斜面(26)与刮除器(61B)之间，发挥润滑剂的作用。结果，能够抑制为了清扫狭缝喷嘴(2)而在狭缝喷嘴(2)上滑动的刮除器(61B)的磨损。

技术领域

本发明涉及涂覆装置、喷嘴清扫装置及喷嘴清扫方法，其中，涂覆装置从喷嘴排出口排出涂覆液涂覆液晶显示装置用玻璃基板、半导体基板、等离子显示器(PDP：PlasmaDisplay Panel)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、滤色片用基板、记录盘用基板、太阳电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板、矩形玻璃基板、薄膜液晶用柔性基板、有机电致发光(EL：Electro Luminescence)用基板(以下简称为“基板”)，喷嘴清扫装置及喷嘴清扫方法去除附着在上述喷嘴排出口上的附着物。

背景技术

以往，为了向基板涂覆涂覆液，通常使用从排出口排出涂覆液的喷嘴。这样的喷嘴存在附着在设置有排出口的前端部的侧面上的涂覆液等附着物干燥硬化而落在基板上导致污染基板的情况。因此，日本特许第4985007号公报中公开的狭缝式涂覆机在利用喷嘴(狭缝喷嘴)开始涂覆前，通过清扫构件即擦拭头在喷嘴上滑动，从而去除附着在喷嘴前端部的侧面上的涂覆液。

但是，在喷嘴上滑动清扫构件的结构中，因磨损而被削成粉状的清扫构件的一部分成为磨损粉，从而发生因清扫构件的消耗、磨损粉的落下而导致污染基板等情况。在日本特许第4985007号公报中，清扫构件在喷嘴上滑动之前从喷嘴排出口排出涂覆液，因此，如果使该涂覆液发挥润滑剂的作用，则能够抑制清扫构件的磨损。但是，实际上，在清扫构件与喷嘴之间没有进入充分量的涂覆液的情况下清扫构件在喷嘴上滑动，因此，涂覆液不能充分发挥作为润滑剂的作用，因此清扫构件的磨损依旧成为问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，目的在于提供能够抑制为了清扫喷嘴而在喷嘴上滑动的构件的磨损的技术。

本发明的第一方式的喷嘴清扫装置，包括：第一相对构件，其能够在与喷嘴的前端部的侧面隔开间隔并且与前端部的排出口和侧面相对的状态下，向沿喷嘴排出口的移动方向移动，上述喷嘴从设置在上述前端部的前端上的上述排出口排出涂覆液；抵接构件，在第一相对构件的移动方向的上游侧，其能够在与喷嘴前端部的侧面抵接的状态下向移动方向移动；以及移动部在喷嘴从排出口排出涂覆液后，其执行将第一相对构件向移动方向移动，从而利用第一相对构件将附着于前端部的涂覆液在侧面扩散，并且将抵接构件向移动方向移动，从而利用抵接构件从侧面去除在侧面扩散的涂覆液的构件移动动作。

本发明第一方式的涂覆装置具备：喷嘴，其从设置于前端部前端的排出口排出涂覆液；以及上述第一方式的喷嘴清扫装置。

本发明第一方式的喷嘴清扫方法，包括；向从设置于前端部前端的排出口排出涂覆液的喷嘴前端部附着涂覆液的工序；通过将与喷嘴前端部的侧面隔开间隔并且与前端部的排出口和侧面相对的第一相对构件向沿排出口的移动方向移动，从而利用第一相对构件将附着于前端部的涂覆液在侧面扩散的工序；以及通过将在第一相对构件的移动方向的上游侧与喷嘴前端部的侧面抵接的抵接构件向移动方向移动，从而利用抵接构件从侧面去除在侧面扩散的涂覆液的工序。