[发明专利]感光性绝缘组成物有效
| 申请号： | 201710320318.1 | 申请日： | 2017-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN108663900B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 周宥佑;王懿玫;林世昌;陈秋风 | 申请（专利权）人： | 台虹科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;H01L23/29 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾高雄市前*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 绝缘 组成 | ||
【权利要求书】：
1.一种感光性绝缘组成物，其特征在于，包括：
多官能环氧树脂；
反应性内酯树脂；
光酸起始剂，包括三芳香基锍四(五氟苯基)硼酸盐；
改质剂，包括密着剂及流平剂；以及
溶剂，
其中，
所述多官能环氧树脂由以下化学结构式表示：
其中R’为H或(OCH2CH)CH2－，n’为0至30的整数
以所述多官能环氧树脂的总量为100重量份计，所述反应性内酯树脂的含量为15重量份至20重量份，所述光酸起始剂的含量为0.5重量份至5重量份，所述密着剂的含量为1重量份至2重量份，所述流平剂的含量为0.2重量份至1重量份，所述溶剂的含量为0.5重量份至15重量份。
2.根据权利要求1所述的感光性绝缘组成物，其特征在于，所述光酸起始剂由以下化学结构式表示：
其中Ar为芳香基混合物。
3.根据权利要求1所述的感光性绝缘组成物，其特征在于，所述密着剂包括硅烷类偶合剂或钛类偶合剂。
4.根据权利要求1所述的感光性绝缘组成物，其特征在于，所述流平剂包括含氟类化合物。
5.根据权利要求1所述的感光性绝缘组成物，其特征在于，所述溶剂包括丁酮与环戊酮。
6.根据权利要求1所述的感光性绝缘组成物，其特征在于，所述反应性内酯树脂由以下化学结构式表示：
其中R为C或脂肪族烃，n为0或1。
7.根据权利要求1所述的感光性绝缘组成物，其特征在于，所述感光性绝缘组成物用于半导体材料或电子材料。
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