[发明专利]一种改善扩散均匀性的炉管

说明书

技术领域

本发明属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种改善扩散均匀性的炉管。

背景技术

太阳能电池制造的核心工序为扩散工序，随着太阳能电池制造技术的发展，扩散方阻不断升高，同时面对成本的压力，产能的提升，石英舟槽距越来越小对磷源扩散要求也越来越高。传统的扩散方式只能通过减少气体流速、磷源携带量和延长扩散时间，不能很好的解决产能与方阻均匀性。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种结构简单、操作方便效率高，挥发少，不容易损坏的简便式浆料过滤装置。

本发明所述的一种改善扩散均匀性的炉管，包括石英炉管，所述的炉管内设有镂空螺旋结构体，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。

进一步改进，所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成，可耐高温。

进一步改进，所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片，该薄片的宽度为1-2cm。

本发明的工作原理：常规石英管中内壁上，加入螺旋状的石英条，在气体运行过程中，管壁处的磷源受到石英条的阻挡，改变平行于石英管运行的轨迹，向下运行，可以更深入的进入硅片中间，改善片内均匀性。

本发明的有益效果在于：

与现有技术相比，本实用操作简单方便，可以节约生产时间和劳动力，大大提高了生产效率，减少了生产成本；利用空气动力学原理，通过增加螺旋结构使五氧化二磷颗粒增加横向移动，从而深入硅片之间的缝隙中，改善方阻片内均匀性。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明所述的一种改善扩散均匀性的炉管，包括炉管1，所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体2，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成，具有耐高温的优点。

所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片，该薄片的宽度为1-2cm。

本发明的原理在于，在常规石英管中内壁上加入螺旋状的石英条，在气体运行过程中，管壁处的磷源受到石英条的阻挡，改变平行于石英管运行的轨迹，向下运行，可以更深入的进入硅片中间，改善片内均匀性。

以上所述仅是本发明的优选实施方法，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。