[发明专利]超高精度倾斜测试平台

权利要求书

1.一种超高精度倾斜测试平台，其特征在于：

包括PC控制器（1）、第1光栅尺测量机构（2）、第2光栅尺测量机构（3）、第1底座（4）、第2底座（5）、第1力平衡装置（6）、第2力平衡装置（7）、第3光栅尺测量机构（8）、直线电机驱动机构（9）、平台面板（10）、定位基座（11）和第3力平衡装置（12）；

其位置和连接关系是：

在平台面板（10）的左侧下方设置有第1底座（4）和第2底座（5），在平台面板（10）的下方右侧中间位置设置有直线电机驱动机构（9），第1底座（4）、第2底座（5）和直线电机驱动机构（9）都设置在定位基座（11）上；

在平台面板（10）左侧对称设置有第1光栅尺测量机构（2）和第2光栅尺测量机构（3），在平台面板（10）的右侧中间位置设置有第3光栅尺测量机构（8），第1光栅尺测量机构（2）、第2光栅尺测量机构（3）和第3光栅尺测量机构（8）的探针（22）分别与平台面板（10）的上表面接触，第1光栅尺测量机构（2）和第2光栅尺测量机构（3）通过测量座设置在定位基座（11）上，第3光栅尺测量机构（8）通过龙门底座（81）设置在定位基座（11）上；

在平台面板（10）的下方前后两侧位置分别设置有第1力平衡装置（6）、第2力平衡装置（7），在平台面板（10）左侧设置有第3力平衡装置（12），第1力平衡装置（6）、第2力平衡装置（7）和第3力平衡装置（12）上端的钢珠与平台面板（10）的端盖滑动连接，第1力平衡装置（6）、第2力平衡装置（7）和第3力平衡装置（12）的底座设置在定位基座（11）上；

PC控制器（1）分别与直线电机驱动机构（9）、第1光栅尺测量机构（2）、第2光栅尺测量机构（3）、第1底座（4）和第3光栅尺测量机构（8）连接，PC控制器（1）采集第1光栅尺测量机构（2）、第2光栅尺测量机构（3）和第3光栅尺测量机构（8）的探针（22）位移信号，同时PC控制器（1）控制直线电机驱动机构（9）、第1底座（4）、第2底座（5）的步进电机（42）运动。

2.按权利要求1所述的一种超高精度倾斜测试平台，其特征在于：

所述的第1光栅尺测量机构（2）包括测量头和测量座，测量头包括光栅尺安装板（21）、探针（22）和读数头安装板（23）；测量座包括测量机构横支架（24）、测量机构立柱（25）、测量机构底座（26）和测量机构调平螺钉（27）；

其位置和连接关系是：

测量机构底座（26）设置在定位基座（11）上，测量机构底座（26）两侧设置有两个测量机构调平螺钉（27），测量机构底座（26）中间位置设置有测量机构立柱（25），测量机构立柱（25）上端设置有测量机构横支架（24），测量机构横支架（24）右端连接读数头安装板（23），读数头安装板（23）与光栅尺安装板（21）滑动连接，在光栅尺安装板（21）下端设置有探针（22）。

3.按权利要求1所述的一种超高精度倾斜测试平台，其特征在于：

所述的第1底座（4）包括基座（41）、步进电机（42）、升降立柱（43）和向心关节轴承外圈（44）；

其位置和连接关系是：基座（41）设置在定位基座（11）上，在基座（41）左侧设置有步进电机（42），在基座（41）右侧设置有升降立柱（43），步进电机（42）、升降立柱（43）通过内部的齿轮连接，升降立柱（43）上端设置有的向心关节轴承外圈（44）与平台面板（10）孔B设置的向心关节轴承内圈（101）配合。